판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9096052

NOVELLUS CONCEPT One은 최첨단 실리콘 에치 응용 프로그램을 위해 NOVELLUS Systems, Inc.에서 개발 한 고급 기술 에치 원자로입니다. 이 원자로는 DEPC (Dynamic End Point Control) 기술을 통해 반도체 생산의 궁극적 인 프로세스 개선을위한 에치 속도, 프로세스 제어 향상, 오버레이 등록 향상 등을 달성할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE (NOVELLUS CONCEPT ONE) 은 특허를받은 DEPC 기술을 사용하여 원자로가 화학 보조 반응성 이온 에칭 (CARE) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 최고의 프로세스 성능. 이 기술은 또한 원자로가 에치 프로세스 (etch process) 의 상태를 실시간으로 모니터링 및 평가함으로써 에치 레이트 (etch rate) 가 높아지고 공정 정밀도가 향상됩니다. CONCEPT One 원자로는 또한 가스 노이즈를 줄이고 프로세스 안정성을 향상시키는 특허 및 최첨단 챔버 형상을 갖추고 있습니다. 이 원자로에는 빠르고 정확한 가스 배달을 지원하는 Fast Forward Gas Delivery System과 부드러운 가장자리와 더 나은 이방성 에칭 프로파일을 제공하는 독점적 인 Contactor Edgestripet이 장착되어 있습니다. 최고의 성능을 위해 Process Monitoring, Process and Quality Assurance, Process Data Collection 및 Process Recipe Management 등 다양한 고급 프로세스 제어 옵션으로 CONCEPONE Reactor를 구성하여 전체 프로세스 제어 및 운영 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 또한 광범위한 애플리케이션에 대한 고급 프로세스 레시피를 지원하며, 프로세스 유연성과 제어가 더욱 향상됩니다. 결론적으로, NOVELLUS CONCEPT One (NOVELLUS CONCEPT One) 은 고급 반도체 생산을위한 이상적인 에치 원자로, 더 높은 에치 속도, 더 나은 프로세스 제어, 향상된 오버레이 등록 및 더 큰 프로세스 안정성을 가능하게하여 반도체 제작 프로세스를 개선하기위한 완벽한 도구입니다.