판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9096031

NOVELLUS CONCEPT One은 고급 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 고 처리량 플라즈마 기반 원자로입니다. 단일 웨이퍼 (single-wafer) 환경에서 프로세스 솔루션을 제공할 수 있으므로 Fabs의 생산성, 균일성, 확장성이 향상됩니다. NOVELLUS CONCEPT ONE은 특허를받은 저온 아크 플라즈마 소스 인 Drossom에 의해 구동되며 초고 이온 플럭스 (최대 10 ^ 20 이온/cm2/초) 를 제공합니다. 이를 통해 플라즈마 처리 전에 웨이퍼 (wafer) 의 표면을 미리 청소하고 개선할 수 있습니다. TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 "초고이온 플럭스 '를 제공하는 유일한 사례다. CONCEPT One에는 Pulsar pre-clean 모듈도 있으며, 단일 저압 공정 챔버를 사용하여 고온 처리를 제공합니다. 이 모듈은 탄소 증착 및 패턴 유발 수율 손실과 같은 과제를 치료하는 데 사용될 수있다. 또한 사용자는 프로세스 처리량을 높이고 더 높은 수준의 필름 균일 (film unifority) 을 달성 할 수 있습니다. CONCEPT ONE에는 분산 아키텍처가 있으며, 4 개의 원자로가 2 개 또는 4 개의 프로세스를 결합하여 최대 처리량을 제공합니다. 이를 통해 신속한 확장이 가능하며 polysilicon 증착 및 도핑과 같은 고급 프로세스를 지원합니다. 원자로는 매우 정확하며, 고급 자동 조정 알고리즘을 사용하여 신속한 최적화 및 반복 성을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT One은 차세대 반도체 제조를위한 혁신적인 플랫폼으로, 매우 정확한 프로세스 제어, 뛰어난 균일성, 빠른 처리량을 모두 갖추고 있습니다. 이 제품은 대용량 (대용량) 제조 용량에 이상적인 솔루션을 제공하며, 고급 공정 기술을 위해 설계된 유일한 고성능 원자로입니다.