판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9096029

NOVELLUS CONCEPT One은 NOVELLUS Systems, Inc.에서 개발 한 혁신적인 원자로 기술입니다. 공정 처리량 (process throughput) 과 제품 생산량을 향상시키면서 박막 (thin film) 과 고급 재료 (advanced material) 구조를 효율적으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 선형 원자로 설계는 고온 화학 증기 증착 (CVD) 소스와 고효율 열 교환 장비를 결합하여 광범위한 증착율 (deposition rate) 및 구성 제어를 생성합니다. 두 개의 독립적 인 CVD 소스를 사용하면 표면 균일성 (surface uniformity) 및 화학 조성과 같은 바람직한 박막 품질도 가능합니다. 재료 공학 분야에서 20 년 이상의 경험을 가진 이 원자로 기술은 원자층 증착 (ALD), 금속 유기 화학 증착 (MOCVD) 및 수정 된 대기 화학 증기 증착 (MACVD) 과 같은 고급 프로세스를 가능하게했습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 원자로는 맞춤형 고온 CVD 요소 클러스터를 포함한 여러 가지 고급 기술을 단일 선형 원자로 설계에 통합합니다. 이 CVD 요소는 열 배기를 효율적으로 분배하고 증착 시간 및 플라즈마 온도를 관리하는 데 도움이되는 독특한 열 교환 시스템 (heat-exchange system) 에 의해 보완됩니다. 원자로 (Reactor) 에는 연산자 보호를 돕는 일련의 격리 및 규제 시스템 (Containment and Regulation System) 이 있으며 안정적이고 안전한 원자로 환경을 만듭니다. 이 구성은 균일 한 온도 조절, 효율적인 공정 온도 변화, 다양한 증착률 (deposition rate) 을 제공하여 고급 재료 구조 기능을 제공합니다. 콘셉트 원 (CONCEPT One) 원자로 (reactor) 는 기존 시스템과 비교할 때 많은 이점을 제공하는 정교한 반응 기술의 예입니다. 이동성이 뛰어나고, 사용하기 쉽고, 에너지 효율적이며, 단일 단위로 다중 재료 (Multiple Material) 프로세스를 수행할 수 있으므로 수율을 늘리는 동시에 시간과 자원을 절약할 수 있습니다. 그 에 더하여, 기계 의 크기 가 작을수록 생산 환경 의 발자국 이 최소화 되어, 연구, "프로토타이핑 ', 심지어 산업" 응용프로그램' 에 적합 하다. 전반적으로, CONCEPT ONE은 원하는 재료와 구조를 정확하게 튜닝 할 수있는 강력하고 다재다능한 원자로입니다. 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 기반으로 한 독보적인 설계를 통해 다양한 박막 (Thin Film) 과 고급 재료 구조를 효율적으로 생산할 수 있으며, 안전하고 안정적인 방법으로 향상된 처리량 (Throughput) 과 제품 생산량을 제공합니다.