판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9089208

NOVELLUS CONCEPT One
제조사
NOVELLUS
모델
CONCEPT One
ID: 9089208
웨이퍼 크기: 8"
TEOS PECVD System, 8".
NOVELLUS CONCEPT One은 고급 프로세스 기술을 사용하여 반도체 장치에서 OLED 디스플레이에 이르기까지 다양한 제품의 고정밀, 고 생산성 제조를 가능하게하는 최첨단 CVD (chemical vapor deposition) 원자로입니다. 노벨 러스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT ONE) 은 연구 개발 (Research and Development) 에서 대용량 생산에 이르기까지 다양한 생산 요구에 대해 엄격한 프로세스 플럭스 제어 및 높은 처리량을 허용하도록 설계되었습니다. 고급 마이크로 프로세서를위한 high-k CVD 및 low-k CVD, OLED 디스플레이 및 마이크로 일렉트로닉스 장치의 유전체 증착을 포함하여 광범위한 응용 프로그램이 있습니다. CONCEPT One (CONCEPT One) 은 원격 작업 기능도 제공합니다. 이를 통해 사용자는 원격 위치에서 프로세스를 시작, 모니터링 및 완료할 수 있습니다. 이 기능을 통해 자동화된 프로세스 제어 및 최적화 (Optimization) 를 통해 운영 처리량을 최적화할 수 있습니다. 원자로는 NOVELLUS 특허받은 TSC (thermal separation chamber) 기술을 기반으로하며, 이는 여러 방의 동시 열 제어 및 넓은 지역의 증착을 제공합니다. 이 다중 영역 챔버 (multi-zone chamber) 는 전체 프로세스에 걸쳐 매우 균일하고 고품질의 증착을 가능하게 하며, 추가 튜닝 또는 수동 조정이 필요하지 않습니다. CONCEPT ONE에는 자동 시작 (auto-start) 기능이 장착되어 있으며, 이 기능은 사용자가 원자로를 설정할 때 논리적이고 자동화된 프로세스를 제공합니다. 또한 데이터 수집 시스템 (Data Collection System) 을 통해 프로세스 기간 동안 실시간 정보를 수집하여 처리량을 높이고 프로세스를 신속하게 평가, 개선할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT One (NOVELLUS CONCEPT One) 은 유연성을 위해 설계 및 제작되었으며, 다른 프로세스 요구에 맞게 쉽게 제거 및 교환할 수 있는 상호 교환 가능한 모듈을 갖추고 있습니다. 또한, 원자로는 NOVELLUS Ease of Inspection 프로그램을 준수하여 프로세스 흐름이 항상 최적화되도록 도와줍니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT ONE은 고급 기술을 사용하여 생산 효율성과 품질을 높이는 최첨단 CVD 원자로입니다. 원격 운영, 자동 시작, 다중 영역 제어 (Multi-Zone Control) 등 다양한 기능과 기능을 통해 운영 속도 향상, 정확성 향상, 향후 프로세스 검증 등의 이점을 누릴 수 있습니다.
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