판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9026266

노벨 러스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT One) 은 성장하는 반도체 산업의 고유한 요구에 맞춰 확장 가능하도록 설계된 차세대 원자로입니다. 현대 반도체 소자 제조에 사용되는 부품을 정확하게 제조 할 수있는 콜드 월 EUV (Cold Wall EUV) 소스입니다. 이 면적 40cm 이상의 평균 일관성 길이로 1m x 1m의 넓은 면적에서 150 ~ 400mW/cm2 범위의 전력 밀도를 생성 할 수 있습니다. 이 전력 밀도는 고효율 EUV 시스템을 0.15nm 해상도까지 낮출 수 있습니다. 노벨 루스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로는 자동 가스 혼합 기술로 작동하는 통합 가스 분사 장비 (gas injection equipment) 를 통해 레이저 공동의 가열로 향상된 레이저 출력을 생성 할 수 있습니다. 이 일관된 열 프로파일은 레이저 빔 (laser beam) 의 초점을 향상시키고 공정의 정확한 제어를 가능하게합니다. 또한, 프로세스가 반복 가능하고 안정적이어서 더 높은 수율과 더 나은 공정 가산기 (process adder) 가 생성됩니다. CONCEPT One (CONCEPT One) 은 또한 레이저를 유지하고, 반응로의 미디어 및 광학을 일관된 온도에서 증폭시키는 활성 순환 쿨러를 특징으로합니다. 이 열 관리 시스템은 내부 진단 및 피드백 냉각 시스템 (in-situ diagnostics and feedback cooling systems) 과 연동하여 원자로 (reactor) 의 출력 안정성을 향상시켜 프로세스 매개변수의 미세 튜닝을 가능하게 합니다. CONCEPT ONE (CONCEPT ONE) 은 시내 진단 장치 (in-situ diagnostics unit) 를 특징으로하며, 이는 제조 프로세스 주기 동안 빔 특성에서 시간 진화를 측정할 수 있습니다. 이는 정확한 빔 출력을 보장하며, 시간이 지남에 따라 광학의 손상을 최소화합니다. 또한, 원자로는 또한 고효율 EUV 소스를 특징으로하며, 이는 레이저에서 광학으로 에너지 이동 수단을 보다 효율적으로 만들고, 따라서 전력 소비를 줄입니다. NOVELLUS CONCEPT One은 반도체 산업을 성공시킬 수있는 최적화 된 EUV 소스 원자로입니다. 전력 및 온도 조절 시스템, 내부 진단 (in-situ diagnostics) 및 통합 가스 분사 장치 (integrated gas injection machine) 와 함께, 효율성이 높고 반도체 산업의 까다로운 요구에 적합한 안정적이고 견고한 제품입니다.