판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #73827

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제조사
NOVELLUS
모델
CONCEPT One
ID: 73827
PECVD system, 5" Main body Booster pump Reacor dry pump LL pump Scrubber Generator Power requirements De-installed 1994 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One은 고급 마이크로 일렉트로닉스 시장을 위해 설계된 높은 생산성, 웨이퍼 처리 원자로입니다. 동급에서 가장 성능이 높고, 안정적이며, 유연한 원자로 중 하나이며, 사용자 정의 가능한 공정 농도 및 온도를 제공 할 수 있습니다. 특허를받은 NOVELLUS Drive Equipment, 특허 받은 NOVELLUS Atomization System 및 NOVELLUS Controlled Cooling 장치가 장착되어 있어 고성능 및 비용 효율적인 웨이퍼 처리가 필요한 제조업체에 적합합니다. NDS (NOVELLUS Drive Machine) 는 생산성 및 제품 품질을 극대화하기 위해 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스 조건을 제공할 수있는 고급 기술입니다. 이 제품은 혁신적인 모터, 모터 구동 샤프트, 디지털 인코더를 활용하여 높은 정확도로 샤프트의 움직임을 추적합니다. 이는 최적의 공정에 필요한 높은 수준의 제어를 제공하며, 기존 원자로에 비해 프로세스 안정성이 45% 향상됩니다. NOVELLUS Atomization Tool (NAS) 은 고효율 원자화와 정확한 프로세스 제어를 결합합니다. NAS 는 에너지 효율성, 프로세스 온도, 농도 등을 제어할 수 있도록, 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. NCC (NOVELLUS Controlled Cooling) 자산은 공정이 중단되기 전에 와퍼를 안전한 온도로 균등하게 냉각시켜 냉각과 관련된 비용을 절감하고, 제품 품질을 유지하도록 설계되었습니다. 고급 선형 드라이브 모터를 사용하여 공정 온도를 정확하게 조정하고, 냉각 속도를 높이고, 열 구배 응력을 줄이고, 웨이퍼 전체에 균일 한 온도를 만듭니다. 노벨 러스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로는 마이크로 일렉트로닉스 업계의 우위를 확보하려는 제조업체에게는 효율적이고 신뢰할 수있는 선택입니다. 탁월한 성능과 정확하고 예측 가능한 프로세스 제어를 제공하는 원스톱 (one-stop) 솔루션으로 설계되었습니다. 다용도, 내구성, 정확성으로 최첨단, 고성능 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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