판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9311436

NOVELLUS CONCEPT One-150은 CVD 및 MVG 유형 프로세스를 전문으로하는 업계 최고의 초저압 원자로입니다. 이 제품은 조건의 완벽한 제어 및 반복 (repeatibility) 기능을 제공하며, 다양한 프로세스 옵션을 제공하여 고급 생산이 가능합니다. 이 원자로는 파일럿 규모 및 생산 규모 제조 응용 프로그램 모두를 위해 설계되었습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 150에는 최대 150 리터의 용량의 폴리머 라인 챔버가 있습니다. 또한 압력, 온도, 가스 흐름 등 다양한 프로세스 제어 매개변수를 제공합니다. 이 장비는 최대 2 개의 가열되고 냉각된 프로세스 코일 (process coil), 스위핑 여과 시스템 (sweeping filtration system) 및 프로세스 및 안전 요구 사항을 모두 충족하는 유연한 압력 플랫폼으로 구성됩니다. 또한, 이 장치에는 다양한 고급 진단 기능, 통합 도량형 도구, 제품 품질 실시간 분석 등이 포함되어 있습니다. 개념 1 - 150은 사용하기 간단하며 Si, Ta, Al 및 Ni를 포함한 다양한 재료를 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 증착, 산화, 스퍼터링, 화학 에칭 등 다양한 과정을 동시에 실행할 수 있습니다. 정전 결합 플라즈마 (CCP) 및 유도 결합 플라즈마 (ICP) 와 같은 고급 프로세스도 가능합니다. 기계에는 간단한 프로세스 제어 및 모니터링이 가능한 PLC (programmable logic controller) 가 있습니다. 또한 광학 현미경, FTIR 분광법 및 잔류 가스 분석 (RGA) 을 포함한 다양한 고급 데이터 획득 도구를 갖추고 있습니다. 이러한 도구는 프로세스 조건을 모니터링 및 확인하는 데 도움이 됩니다. CONCEPT ONE 150은 프로세스 성능의 높은 품질과 반복성을 보장하는 강력하고 안정적인 도구입니다. 이 도구는 다양한 프로세스 옵션 (process options) 과 통합 모니터링 도구 (integrated monitoring tools) 를 통해 집적회로 및 기타 마이크로일렉트로닉 장치의 대량 생산에 적합합니다.