판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248603

NOVELLUS CONCEPT One-150은 고급 반도체 제조에 사용하도록 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 폴리 실리콘, 실리콘 산화물, 알루미늄 티타늄 질화물 (AlTiN) 필름과 같은 재료의 정밀 처리를 제공합니다. 최적화된 소스 전달 및 제어를 통해 NOVELLUS CONCEPT ONE 150은 두께 해상도가 4 나노미터까지 낮은 정밀하고 균일 한 레이어를 배치 할 수 있습니다. 대규모 및 소규모 운영 모두에 대해 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. CONCEPT ONE - 150은 생산성 향상을 위해 설계되었으며 다양한 n 유형 및 p 형 실리콘 기판과 호환됩니다. 독자적 인 "소오스 '배달 장비 는 불순물 이나 원치 않는 불순물 이 새지 않고도 계속 되는 화학품 을 공급 해 준다. 화학 물질의 전달은 또한 시스템에 의해 정확하게 제어되어, 균일성이 ± 2% 미만인 일관된 층을 가능하게합니다. CONCEPT One-150의 반응 챔버 (reaction chamber) 는 소스 가스의 단단히 제어되고 효율적인 혼합을 위해 설계되어 효율적인 반응과 향상된 필름 품질을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT ONE - 150의 반응은 고급 소프트웨어로 제어됩니다. 강력한 강력한 프로세스 제어 기능으로, 실시간 제어, 데이터 수집, 분석 기능을 제공합니다. 콘셉트 원 150 (CONCEPT ONE 150) 의 디스플레이 단위는 직관적인 작동을 위해 설계되었으며, 운영자는 원하는 프로세스를 유지하는 데 필요한 정보에 신속하게 액세스하고 해석할 수 있습니다. 반응 챔버의 온라인 비디오를 포함한 고급 진단 (Advanced diagnostics) 은 자세한 성능 분석을 제공합니다. 이 기계는 또한 과압 방지, 환경 모니터링 시스템, 활성 오존 모니터링과 같은 안전 기능으로 설계되었습니다. NOVELLUS CONCEPT One-150은 하부 나노 미터 치수의 레이어를 처리하여 고급 반도체 장치의 제작을 가능하게합니다. 이것은 다양한 CVD 응용 프로그램 (예: 고급 VLSI 프로세스에 대한 질화 알루미늄 게이트 증착) 에서 성공적으로 사용되었습니다. 이 툴은 프로세스 최적화 및 처리량을 위한 향상된 반복 (repeativility) 기능을 제공하여 보다 빠르고 안정적인 운영을 가능하게 합니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 150은 고급 반도체 제조를위한 최첨단 CVD 기술의 예입니다.