판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293807073

NOVELLUS CONCEPT One-150은 NOVELLUS Systems Inc.에서 개발하고 제조 한 단일 챔버 화학 증기 증착 (CVD) 도구입니다. 이것 은 "박막 '을 제어 하고 균일 한 방식 으로 증착 할 수 있도록 고도 로 자동화 된 도구 이다. NOVELLUS CONCEPT ONE 150은 150 입방 센티미터 (cc) 의 고정 부피를 갖는 직사각형 반응 챔버를 특징으로합니다. 약실은 또한 열 안정성을 유지하기 위해 절연되어 있습니다. 이 도구는 통합 비활성 가스 (inert gas) 및 화학 증기 분사 (in-situ pressure) 측정뿐만 아니라 내부 압력 측정도 갖추고 있습니다. 이것은 압력, 온도, 반응물 농도와 같은 증착 과정 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 기계 는 "챔버 '를 가열 하여 냉각 시키기 위하여" 쿼츠' 전기 저항 "히터 '와 액체 질소 열 전달" 블록' 을 갖추고 있다. 이 기계는 고급 다중 영역 온도 컨트롤러 (multi-zone temperature controller) 에 고정되어 있으며, 이 컨트롤러는 독립된 영역 가열 및 냉각을 허용하며, 온도 조절 (close temperature control) 을 지원합니다. CONCEPT ONE - 150은 프로그래밍 가능한 CPU (중앙 처리 장치) 에 의해 제어되는 벤치탑 CVD 시스템입니다. 화학 증기 증착, 열 처리 및 사이클링과 같은 몇 가지 사전 프로그래밍 된 응용 프로그램이 가능합니다. 원자로는 플루오린화 된 폴리 실리콘 (fluorinated polysilicon) 과 질화 실리콘 (silicon nitride) 을 포함한 다양한 얇은 필름의 강착을 허용한다. 또한 금속, 합금, 유전체 및 절연체로 구성된 작은 입자로 웨이퍼를 코팅하는 데 사용됩니다. NOVELLUS CONCEPT ONE-150은 낮은 프로세스 드리프트 (drift) 를 유지하고 긴 런을 실행하여 대량 생산에 적합합니다. 즉, 운영 비용을 절감하기 위해 최소한의 유지 보수 작업과 높은 가동 시간을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 매우 견고하고 반복 가능한 증착 플랫폼으로, 안정적이고, 작동하고, 조정하기 쉽습니다.