판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644792

NOVELLUS CONCEPT 3 원자로는 반도체 제조에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 도구입니다. 고급 고성능 반도체 소재를 생산할 수 있는 고순도 가스 환경을 갖추고 있습니다. CONCEP3 원자로는 고급 독점 설계를 사용하여 사용자에게 최적의 성능을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT 3 원자로의 전체 디자인은 다양한 가스 화학을위한 공정을 수용하는 챔버로 구성됩니다. 중앙 챔버 양쪽에 2 개의 챔버가 있으며, 플레 넘 (plenum) 과 매니 폴드 (manifold) 가 챔버를 연결합니다. 확산 챔버 (diffusion chamber) 는 또한 중앙 챔버에 연결되어, 그 과정에서 화학 물질이 분산 될 수있다. 모든 챔버 (chamber) 컴포넌트가 함께 작동하여 복잡한 프로젝트에 대한 최적의 프로세스 조건을 생성합니다. CONCEPT 3 원자로의 가스 입구 매니 폴드 (gas inlet manifold) 는 최대 3 개의 서로 다른 화학 물질을 효율적인 방식으로 전달하는 한편, 여전히 일관된 수준의 프로세스 제어를 제공 할 수 있습니다. 그 장비 는 화학 물질 의 흐름 과 "약실 '내 의 압력 을 자동적 으로 정확 하게 조절 하여, 원하는 결과 를 보장 할 수 있다. 일단 "가스 '가 방 에 전달 되면, 방사성 가열 원소 로 가열 되어" 가스' 반응 이 시작 된다. 전반적인 프로세스는 센서, 히터 (heater) 등 챔버 벽에 위치한 여러 도구로 촉진됩니다. 프로세스가 진행됨에 따라 챔버 모니터 (chamber monitor) 온도 및 흐름 내부의 다양한 검출기 (detector) 는 항상 프로세스가 부드럽게 실행되고 있는지 확인합니다. 일단 원하는 결과가 나오면, 고도로 반응적인 부산물 (by-product) 컴포넌트가 배기 시스템 (exhaust system) 을 사용하여 챔버에서 빠르고 효율적으로 제거됩니다. 이 배기 장치는 스크러버, 애프터 버너, 고효율 필터, 화학 실러로 구성되어 있으며, 모두 안전과 깨끗한 작업 환경을 보장하기 위해 함께 작동합니다. NOVELLUS CONCEPT 3 원자로는 신뢰할 수 있고 강력한 CVD 도구이며, 반도체 산업을 위한 고성능 재료를 생산하도록 설계되었습니다. 자동화된 프로세스 제어, 효율적인 가스 배송 (gas delivery), 안전하고 깨끗한 배기 머신 (clean exhaust machine) 을 제공하여 장기적인 신뢰성을 갖춘 비용 효율적인 툴입니다.