판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 #162059

NOVELLUS CONCEPT 3은 반도체 웨이퍼의 대량 산업 생산을 위해 설계된 최첨단 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 즉, 신뢰할 수 있는 집적 회로를 생산하는 데 필수적인, 탁월한 프로세스 균일성과 장치 품질을 갖추도록 설계되었습니다. CONCEPT 3에는 3 챔버 디자인이 있습니다. 상단 챔버 (top chamber) 는 벽에 위치한 석영 (quartz) 과 소스 가스 입구 (source gas inlet) 로 만든 플래튼을 사용하여 연속적인 필름 층을 기판에 확산 및 퇴적시키는 데 필요한 환경을 만듭니다. 중방 (middle chamber) 은 상방 (top chamber) 에서 생성 된 휘발성 반응 종의 반응을 유지하는 데 필요한 온도 조절을 제공한다. 하단 챔버 (bottom chamber) 는 필요에 따라 챔버 사이에 웨이퍼를 운반하는 전송 구역입니다. 3 개의 챔버는 여러 웨이퍼에 고품질의 박막을 동시에 증착합니다. 원자로의 전극은 기질과 가깝게 위치하여, 우수한 균일성을 가능하게한다. 이 배열은 또한 주파수 제어 RF 전원을 사용하여 기판을 독립적으로, 정확하게 가열하거나 냉각시키는 기능을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 각 웨이퍼 내에서 필름 두께, 컴포지션 및 열 안정성을 정확하게 제어할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 3은 최첨단 안전 및 자동화 기능을 사용합니다. Man-Machine 인터페이스를 사용하면 매개변수를 최대로 최적화하고 프로세스 상태를 원격 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 대용량 운영, 데이터 수집 및 보고를 위해 설계되었습니다. CONCEPT 3은 고성능 CVD 원자로를 찾는 회사에 이상적인 선택입니다. 독보적인 설계와 고급 기능을 통해 효율적이고 경제적인 방식으로 안정성, 고품질 집적회로를 생산할 수 있습니다 (영문).