판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 #119115
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ID: 119115
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Speed CVD system, 12"
Dimensions: 2604mm x 3536mm x 2125mm
Weight: 3228 kg
90 / 65 nm, FEOL STI
Gases:
SiH4
SH2
SO2
NF3
Ar
He
SN2
D-Air
Includes manual
2005 vintage.
노벨 러스 컨셉 3 (NOVELLUS CONCEPT 3) 은 혁신적인 첨단 장비로 유명한 노벨 러스 (NOVELLUS) 가 개발 한 혁신적인 첨단 화학 원자로 장비입니다. 이 혁명적 인 원자로 는 그 반응 상태 의 우월 한 조절, 정확성, 정밀성 을 제공 함 으로써, 수율 을 높이고, 화학 가공 및 제조 공업 의 생산성 을 향상 시키도록 설계 되었다. CONCEP3 원자로는 고유 한 연속 흐름 반응 프로세스 (continuous flow reaction process) 를 사용하여 주어진 장비 내에서 최대 동작 유연성을 가능하게하며, 오염에 대한 최소한의 잠재력을 가진 효율적이고 안정적인 작동을 가능하게합니다. NOVELLUS CONCEPT 3 원자로는 원자로 용기, 반응 용기, 입구 및 출구 밸브, 반응 펌프 및 입구, 펌프, 입구 및 출구 서모커플을 포함한 일련의 모듈 식 구성 요소로 구성됩니다. 원자로 의 "모듈러 '" 디자인' 은 동일 한 "시스템 '에서 여러 가지 반응 을 할 수 있게 해 주며, 이것 은 최고 의 효율성 과 정확성 을 보장 해 준다. 모든 부품 (component) 은 최고의 산업 표준에 맞게 설계 및 제조되어 각 부품 (part) 이 응용에 적합하게 설계되었으며, 화학 원자로 (chemical reactor) 가 해야 하는 가혹한 환경을 견딜 수 있습니다. CONCEPT 3 원자로는 최대 6,000 psi의 고압에서 작동하며 온도는 -50 ~ 250 도입니다. 유입구 (inlet) 및 콘센트 (outlet) 밸브는 반응 압력 및 온도를 정확하게 제어하고 빠르고 조절 된 제품 전달을 제공 할 수 있도록 설계되었습니다. 온도 감지 프로브 (Temperature Sensing Probe) 를 통해 단위 (Unit) 는 필요에 따라 반응 온도를 모니터링하고 조정하여 생산 과정에서 정확성과 안전을 보장할 수 있습니다. 노벨 러스 컨셉 3 (NOVELLUS CONCEPT 3) 원자로의 반응 용기와 원자로 펌프 메커니즘은 잠재적 인 오염을 줄이고 스케일 업 문제를 방지하기 위해 특별히 설계 및 제작되었습니다. 반응 용기와 펌프는 또한 고온, 압력, 부식 조건에서 기능하도록 만들어졌습니다. 또한 "펌프 '는 손실 을 줄여 부가적 인" 밸브', 피팅 '및 2 차 복구 "시스템' 의 필요성 을 제거 하도록 설계 되었다. 또한 CONCEPT 3 원자로에는 특수 소프트웨어 인터페이스 (specialized software interface) 가 포함되어 있어 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 가장 까다로운 상황에서도 최적의 성능에 대한 반응 (reaction) 매개변수를 조정할 수 있습니다. 결론적으로, NOVELLUS CONCEPT 3 원자로는 매우 발전된 화학 원자로 장비로, 최신 기술 및 엔지니어링 기술을 활용하여 뛰어난 안전, 효율성 및 생산성을 보장합니다. 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 통해 이 시스템은 까다로운 반응 프로세스에 이상적이며, 모든 애플리케이션의 수율과 프로세스 효율성을 극대화하는 데 도움이 됩니다.
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