판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9281484

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector는 고급 금속 증착 공정을 위해 설계된 단일 웨이퍼 화학 증기 증착 (CVD) 원자로 장비입니다. preheat chamber, deposition chamber 및 cooling zone을 포함하는 3 구역 디자인이 특징입니다. 전열 챔버 (preheat chamber) 는 뜨거운 밴드가 거의없는 450 ° C의 온도로 램핑 할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 표면의 사전 조건이 가능합니다. 증착실은 2 개의 독립적으로 작동하는 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 가있는 독특한 병렬 판 구성 (parallel-plate configuration) 을 특징으로하며, 소스 가스의 저온 제어 및 증착의 균일성이 향상됩니다. 냉각 존 (cooling zone) 은 웨이퍼를 신속하게 냉각시킬 수 있으며 빠른 웨이퍼 분석을 위해 자동화된 QC 포트를 포함합니다. CONCEPT 3 Vector는 높은 처리량을 고려하여 설계되었으며, MOVe GAP 웨이퍼 처리 시스템은 빠른 웨이퍼 처리를 위해 최적화되었습니다. 통일성 향상, 웨이퍼 간격 최소화, 웨이퍼 응력 최소화 등 다양한 기능이 함께 제공됩니다 (영문). 또한, Vector는 기울기 각도 스퍼터링 회전 목마, 강화 된 스루 퍼 균일성을위한 회전 받침대, 최적의 스테이션 간 균일성을 위해 회전 목마를 기울이는 장치 등 다양한 스퍼터링 및 전기 화학 처리 도구를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 금속 오염을 줄이기 위해 필름 격리 컵 (film containment cup) 과 같은 기능과 프로세스 최적화를 위해 자동 연동 도구를 사용하여 설계되었습니다. Vector의 프로세스 제어는 고급 프로세스 모니터링, 제어 및 최적화 기술을 활용하는 플랫폼 인 NOVELLUS 독점 SenPlace (TM) 소프트웨어에 의해 활성화됩니다. SenPlace (SenPlace) 를 통해 사용자는 실시간으로 다양한 프로세스 매개변수를 모니터링하고, 즉석에서 프로세스 레시피를 조정하며, 웨이퍼 서피스 전체에서 균일성을 보장할 수 있습니다. 예기치 않은 결과없이 프로세스가 수행되도록 다양한 경고 (alarm) 및 안전 (safety) 기능을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector는 처리량과 균일성을 염두에두고 설계된 고급 다용도 단일 웨이퍼 증착 자산입니다. 저온 CVD, 질화 알루미늄, 질화 티타늄, 텅스텐 등 다양한 증착 과정에 적합합니다.