판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9191085

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector는 화학 증기 증착 (CVD) 응용 분야에 사용되는 고성능 증착 원자로입니다. 저압 화학 증기 침투 (CVI), 고압 CVD, 원자층 침착 (ALD) 및 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 를 가능하게하는 여러 통합 공정 챔버가 특징입니다. 벡터는 폐쇄 루프 (closed-loop), 공명 제어 기판 히터를 사용하여 증착 중 기질 전체에서 매우 균일 한 열 성능을 보장합니다. 벡터 (Vector) 에는 프로그램 가능한 가스 분포 플레이트가 장착되어 있어 최고의 유연성을 제공하여 반응물 가스의 정확하고 정확한 전달을 보장합니다. 가스 유통 플레이트는 가스 스위칭 밸브 (gas switching valves) 를 통합하여, 지출 반응물 가스를 빠르게 전환하고 필요한 경우 신선한 반응물 가스로 교체하여 지출 가스 유출을 줄이고 공정 수율을 개선하도록 설계되었습니다. 또한, 벡터 (Vector) 는 구성 가능한 자동 주입 시스템 (automated injection system) 과 핫 필라멘트 에미터 (hot filament emitter) 를 가지고 있어 증착실에 존재하는 반응성 종을 복잡하게 제어 할 수 있습니다. 벡터는 또한 초고온을 위해 설계되어 금속-유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 및 유기 화학 증착 (OCVD) 과 같은 고성능 응용이 가능합니다. 폐쇄 루프 (closed-loop), 속이 빈 원뿔 도가니 디자인은 독특한 혼합 및 화학 전달 환경을 만들어 반응성 제어를 개선하고 프로세스 모니터링 및 제어를 향상시킵니다. 벡터 (Vector) 는 또한 증착실 내에서 매우 정확한 온도 조절 및 균일성을 보장하는 고급 온도 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 독점적 인 열 관리 시스템 (thermal management system) 은 핫 존 (hot zone) 과 내부 부품 사이에 여러 층의 열 절연을 포함하며, 전체 기판 표면에서 짝수 온도 분포를 제공합니다. 벡터 (Vector) 의 고성능 하드웨어와 결합된 고급 열 관리 시스템 (Advanced Thermal Management System) 은 증착 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 반복성과 균일성을 제공합니다. CONCEPT 3 Vector는 CVD 응용 프로그램에 적합한 도구로서 매우 정확한 온도 조절, 균일성 및 반복 성을 제공합니다. MOCVD 및 OCVD와 같은 복잡한 프로세스에 적합하므로, 우수한 열 성능, 광범위한 반응 가스가 가능합니다.