판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9169845

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector는 복잡한 나노 구조의 증착을 위해 설계된 다축 화학 증기 증착 (MPCVD) 원자로입니다. 더 큰 재료 균일성 (material uniformity) 과 적합성 (conformality) 이 필요한 고급 재료 및 장치 응용 프로그램에 이상적입니다. 벡터 (Vector) 에는 두 개의 독립적으로 제어되는 독립 축이 포함되어 있어 더 큰 기판에 동일한 프로세스 조건이 적용되도록 합니다. 2 축 접근법은 전체 기판에 걸친 에치 과정이 균일하고 일관성을 유지하므로, 균일 한 적합성과 바람직한 전기, 광학 또는 기계적 특성이 생성됩니다. Vector의 핵심은 챔버 및 2 축 선형 전송 시스템입니다. 약실은 압력 조절 (pressure control) 되고 가열 요소와 척 온도 센서를 통해 온도를 제어합니다. 전송 시스템에는 한 쌍의 선형 모터 (Linear Motor) 와 변환 단계 (Translation Stage) 가 포함되어 있어 매우 높은 정확도로 세 축으로 웨이퍼를 정확하게 배치하고 이동합니다. 챔버 내에서, 원자로 및 가스 클러스터는 고정밀 스퍼터링 및 에칭 프로세스를 제공하기 위해 협력한다. PVD에서, 플라즈마 (plasma) 는 처리 된 대상 물질에 전기 방전을 생성하는 데 사용된다. 이 전기 방전은 표적 물질 (target material) 에서 물질을 증발시키는 데 사용되며, 그 후 원하는 기판에 침전된다. "에칭 '과정 에서" 가스' 를 약실 에 투입 시키는데, 이것 은 표적 재료 와 반응 을 나타내고 기판 에 얇은 보호층 혹은 "에치 '" 패턴' 을 만든다. 또한 벡터 (Vector) 에는 챔버 라이너 (chamber liner) 및 프로세스 슈라우드 (process shroud) 와 같은 여러 프로세스 도구가 포함되어 있어 에칭 프로세스에 대한 추가 균일성과 적합성을 제공합니다. 이러한 공정 도구는 또한 챔버 내에서 오염을 방지하고 빠른 열 순환 (thermal cycling) 을 허용합니다. Vector의 설계는 MEMS 처리 및 생체 호환성과 호환되는 높은 반복성, 낮은 결함 수준을 허용합니다. 고해상도의 저하 이미징 시스템을 통해 프로세스 모니터링 및 제어를 수행할 수 있습니다. 벡터 (Vector) 는 빠른 열 사이클링을 제공하며 프로세스 전반에 걸쳐 높은 균일성을 유지하며 TCO (총소유비용) 를 낮게 유지합니다.