판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9246247
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ID: 9246247
System
Gas configuration:
Gas / MFC Type / Size (SCCM) / Filter (P/N)
SiH4 / BROOKS / 1500 / 1-888-554-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-555-FLOW
He / BROOKS / 20000 / 1-888-556-FLOW
NH3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-557-FLOW
N2O / BROOKS / 2500 / 1-888-558-FLOW
N2O / BROOKS / 1500 / 1-888-559-FLOW
O2 / BROOKS / 30000 / 1-888-560-FLOW
NF3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-561-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-562-FLOW
Ar / BROOKS / 10000 / 1-888-563-FLOW
Pressure control:
Chamber 627A11TBC, 10T (P/N: 27-10343-00)
Loadlock 750B11BTCE2GK, 10T (P/N: 27-126062-00)
Manifold A filter MPUJ180 (P/N: 22-169887-00)
Manifold B filter GLFPF3000VMM4 (P/N: 22-00006-00)
RPC Isolation valve
RPS AX7645RH-01AX7645 (P/N: 27-282770-00, 27-277368-00)
Detector
Main A valve SWAGELOK (P/N: 22-043786-00)
Main B valve SWAGELOK (P/N: 22-295147-00)
Valve:
Pendulum valve (P/N: 63-323815-00)
Loadlock isolate valve XLA-25-M9
Slit valve door XGT300-30-1A-32 (P/N: 60-251903-00)
VAT Door 07512-UA24-0002 (P/N: 60-123331-00)
RF Related:
HF Generator APEX 5513 (P/N: 27-284656-00) 13.56 MHz
HF Match ADVANCED ENERGY Navigator-10013 (P/N: 27-296376-00)
LF Generator 350-450 kHz
LF Match LFMN8/5 (P/N:27-295862-00)
RF Distribution board (P/N: 02-307707-00)
SHD Distribution board (P/N: 02-280915-00)
Temperature control:
WATLOW PYLM-C005-0727
Temperature controller 20-1000500-409N008-1
Water switch 50-3NB-AAJ6
PED1 S1-1324-112N003
PED2
PED3
PED4
Wafer handler:
Load port FIXLOAD TM 6M (P/N: 63-292227-00)
FI Robot BROOKS ATR8 (P/N: 121669)
LTM Robot (P/N: 15-256077-01 REV A)
Load lock pedestal
PED1 Lift pin actuator
Spindle C-2030D010299-0608 (P/N: 02-275637-00)
Pedestal MCA ball
Pedestal MCA PIN
LL Pedestal actuator
Carrier ring
System control:
System controller MC3
Motion controller MC3
Missing parts:
Loadlock pump
Isolation
Coolpad
Coolpad actuator.
NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 단일 웨이퍼 배치 형 화학 증기 증착 (CVD) 원자로로, 반도체 장치 재료의 정확하고 반복 가능한 필름 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 산화물 (oxide), 질화물 (nitride), 금속 (metal), 유전체 (dielectric) 등 다양한 물질을 증착할 수 있으며 현대 고성능 장치의 생산에 이상적입니다. Concept 3 Vector Express는 2 개의 상호 연결된 화학 증기 증착 (CVD) 챔버를 기반으로하며, 각 챔버에는 자체 히터와 서셉터가 있습니다. 감지기 (susceptor) 는 난방 구역 (heating zone) 으로 개별적으로 이동하여 조정 가능한 프로세스 창을 제공할 수 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 에는 최대 3 개의 전구체가 포함될 수 있으며, 이는 단일 공정으로 다른 층을 배치하기 위해 챔버에 주입 될 수 있습니다. NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 또한 산화물, 질화물 및 임베디드 게이트 구조의 1.3 나노 미터를 초과하여 차세대 초소형 트랜지스터 및 고성능 반도체 장치의 생산을 가능하게합니다. 이 장비는 높은 변속기, X-ray Quality Enhanced Design (X-ray Quality Enhanced Design) 을 갖추고 있으며 뛰어난 산화물 압축 및 필름 두께 균일성을 제공하며 중요한 구성 요소의 수명을 향상시킵니다. Concept 3 Vector Express에는 운영자와 시스템 보호를 모두 제공하는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 예를 들어, 고유한 '조그 (jog)' 기능을 사용하면 장치의 프로그래밍 포털 (Programming Portal) 에서 다른 프로세스 레시피를 신속하게 선택할 수 있으며 다양한 프로세스 옵션을 제공할 수 있습니다. 또한, 기계의 자체 조정 웨이퍼 크기는 기판 크기 또는 모양의 변형을 보상 할 수 있으며, 변동 성을 줄일 수 있습니다. 마지막으로, 벡터 익스프레스 (Vector Express) 에는 자체 진단 기능이 있으며, 프로세스 데이터의 미묘함을 식별하고 프로세스가 사양을 벗어나기 전에 교정 조치를 취할 수 있습니다. 이것은 프로세스 반복성과 신뢰성을 모두 향상시켜 궁극적으로 더 높은 수율을 산출합니다. 요약하면, NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 고급 반도체 장치 공정의 구현을위한 최첨단 CVD 원자로입니다. Vector Express는 정확하게 프로그래밍 가능한 서셉터, 고정밀 (high-precision) X-ray 품질 구성 요소 및 독특한 조그 (jog) 기능을 통해 오늘날 가장 작고 안정적이며 성능이 뛰어난 반도체 장치를 효율적으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다.
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