판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Triple Speed #9237847
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ID: 9237847
웨이퍼 크기: 12"
HDPCVD System, 12"
Main mini environment platform
(3) Loader systems: ASYST IsoPort
Handler system: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Wafer shape: SNNF
(3) Exhausts: Bottom feed
Cooling water: PCW
User interface Windows NT
Mainframe:
Control system: Ethernet
MF FAC Routing: Front, Through-the-floor
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Load lock & Front end option:
Load locks: C3 WTM Standard SWLL
SECS / GEM
Signal tower
Pod type: 25 Wafers (2) FOUP
BROOKS AUTOMATION Fix load 6M
System controller:
Controller type: Enhanced (NT) with HSMS & GEM
Controller UPS: YES -FAC UPS INF
Electrical INF: Bottom feed AC cables
System EMO type: Push, Turn to release style
EMO Guard ring option
Transfer chamber:
(3) PEC Stations
Transfer chamber manual lid lift
Robot blade: Dual blade with minimum contact
Robot type: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Pumps:
Fore-line heat trace: YES-105C
Chamber A / B / C:
Chamber type: SPEED HDP ILD
Process kit: NanoFill II
ESC: HEX ESC
TEMP Monitor: ATC NTM Delta
Manifold D orifice: 0.020" For long injector
Manifold G orifice: 0.028" For short injector
RF Generator HF: ADVANCED ENERGY APEX 10 kW
RF Generator LF: ADVANCED ENERGY PDX 8000 8 kW
Pedestal heights: 1.35"
Dome matching network: High power dome
Turbo screen: Louvered screen
(2) Turbo pumps: LEYBOLD MAG2000
Pressure controller:
Throttle valve: MKS 153D
Manometer: MKS 10 Torr / 100 mT
Pressure gauge: DATUM 2000 Dual CH
Gate valve: VAT Pendulum valve
Slit valve o-ring: CHEMREZ
Nozzle: (6) Long & (24) Short injectors
Missing parts:
(3) 05-363589-00 / Retrokit, coulombic ESC
(3) 796-212642-001 / VLV, VAC, VAT, Bonded K910
(3) 04-353972-00 / KIT, Pendulum valve, ISOLA
Line voltage: 208 VAC / 60 Hz
CE Marked.
NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactor는 최고 증착 속도 및 증착 균일성을 위해 설계된 고성능 금속 화학적 증발 (MOCVD) 시스템입니다. 3 단계 전원 공급 장치를 사용하면 공정 압력, 온도, 반응물 전달을 완벽하게, 균형있게 제어할 수 있으며, 뛰어난 성능 특성을 지닌 고급 다층 반도체 장치를 생산할 수 있습니다. 이 기계는 3 개의 고품질 쿼츠 튜브 (quartz tube) 를 갖추고 있으며 성장 구역에 쉽게 접근 할 수있는 넓은 개방형 공간을 갖추고 있습니다. 3 개의 엔진은 동일한 평면에 장착되어 공정 "가스 '의 균형 잡힌 균일 한 흐름을 보장합니다. 폐쇄 된 챔버 디자인은 원자로 내부의 온도와 압력을 유지하는 데 도움이됩니다. 특허를받은 Concept 3 Triple Speed 독립 전원 공급 장치는 각 증착관의 온도를 독립적으로 제어함으로써 빠르고 정밀한 증착 제어를 허용합니다. NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactor의 완전 자동 작동 및 강력한 증착 제어 시스템은 뛰어난 반복성과 최소한의 가동 중지 시간으로 배터리 호환 프로세스를 보장합니다. 다중 레벨 전원 공급 장치 (Multilevel Power Supply) 는 필요한 온도 및 압력 수준을 유지하는 반면, 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 는 상세한 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 전면 패널 사용자 인터페이스는 직관적인 인터페이스로, 작동 및 문제 해결이 간편합니다. 컨셉 3 트리플 스피드 (Concept 3 Triple Speed) 는 높은 정확도의 저압 석영 흐름계를 사용하여 효율적인 가스 전달과 성장 공정의 정확한 제어를 수행합니다. 전원 공급 장치는 여러 가지 작동 모드를 갖추고 있으며, 운영자는 단일 (single), 이중 (dual) 또는 삼중 (triple) 속도 증착 모드와 프로세스 가스의 정확한 전달을 위해 선형 (linear) 및 로그 (logarithmic) 제어 중에서 선택할 수 있습니다. 또한, 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel chamber) 의 하부는 샘플을 쉽게 액세스 할 수 있으며, 예금의 처리량을 향상시키고 샘플 수집에 소요되는 시간을 줄입니다. 결과는 효율적이고, 안정적이며, 정확한 3단계 전원 공급 장치로, 언제나 최적의 결과를 제공합니다.
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