판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed #9364308

NOVELLUS Concept 3 Speed는 처리 능력 향상을 위해 설계된 매우 혁신적인 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 집적 회로 제조 및 반도체 장치 제조를위한 혁신적인 도구입니다. 컨셉 3 스피드 (Concept 3 Speed) 는 단일 웨이퍼 회전 및 고정 음극 설계를 사용하여 뛰어난 균일 성과 증착률을 제공 할 수 있습니다. 고급/유연한 클러스터 툴 아키텍처를 통해 모든 NOVELLUS 시스템과 쉽게 통합하고 공존을 극대화할 수 있습니다. 이 CVD 원자로에는 높은 수준의 스루핑 (through-put) 및 뛰어난 품질 처리 결과를 제공하는 업그레이드 가능한 자동화 모듈이 함께 제공됩니다. NOVELLUS Concept 3 Speed에는 생산성 향상을 위해 높은 유동 가스 패널이 있습니다. 최적 온도, 압력 및 가스 흐름 분산 제어를 제공하는 프리 믹싱 챔버 (pre-mixing chamber) 로 강화 된 2 개의 조절 가능한 틸팅 샤워 헤드가 특징입니다. 이 기술은 인라인 (inline) 또는 교차 흐름 가스 믹스로 작동 할 수 있으며, 우수한 재료 균일성을 제공합니다. Concept 3 Speed는 통합 열 소스로 향상된 프로세스 안정성을 제공합니다. 이 HSS (Heat Source Equipment) 는 균일 한 열 분배를위한 고급 3 층 확산 플레이트를 특징으로하여 최적의 재료 비용을 허용합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed (NOVELLUS Concept 3 Speed) 의 독특한 자체 청소 푸셔 플레이트는 입자 생성 가능성을 제거하고 일관된 프로세스 흐름을 제공합니다. 또한, 자동화된 오프라인 프로세스 검증을 통해 코팅 및 최적화된 필름/기판 인터페이스 특성을 신속하게 튜닝할 수 있습니다. Concept 3 Speed의 성능은 고급 다중 위치 웨이퍼 조작 시스템 (PWMS) 으로 향상되었습니다. 이 장치는 웨이퍼 시밍 및 링 로딩을 지원하며, 웨이퍼 및 전구체 처리에 유연성을 제공합니다. 또한, PWMS는 기판 처리 시간을 줄여 기계의 속도를 향상시킵니다. NOVELLUS Concept 3 Speed는 제품 내구성, 프로세스 유연성 및 고수율 생산성을 향상시켜 탁월한 성능을 제공합니다. 반도체 소자 제조업체를 위한 비용 효율적이고 안정적인 CVD 원자로 솔루션입니다.