판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed #9263261
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ID: 9263261
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CVD System, 12"
Process: Nitride
Main frame (EFEM / TM)
Chamber A, B and C
AC Rack
RF Rack
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed는 고정밀 프로세스 개발을 위해 설계된 공구가 필요 없는 모듈식 공정 원자로입니다. 이 장비는 공구가 필요 없는 빠른 구성을 제공하여 다운타임을 최소화하고 사용자 생산성을 극대화합니다. 고속 프로세스 제어 기능, 공구가 필요 없는 빠른 설치 (quick tool-less setup), 프로세스 레시피를 신속하게 조정하고 최적화하는 기능을 갖춘 Concept 3 Speed는 고급 프로세스를 개발하고 생산할 수 있는 위험 요소가 낮은 제조 솔루션을 제공합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed는 다양한 제조 장치로, 다양한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 다양한 편안한 기능 (예: 현대적이고 사용자 친화적 인 터치 스크린 사용자 인터페이스) 을 갖추고 있습니다. 제품의 깨끗하고 통제 된 증착을위한 여러 노즐; 온도, 압력 및 진공과 같은 다양한 프로세스 매개 변수에 대한 가변 흐름 제어; 직류 기판 바이어스; 프로세스 가스 간의 신속하고 깔끔한 전환을 통해 생산성을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. Concept 3 Speed 모듈식 (Concept 3 Speed) 아키텍처를 사용하면 사용자 정의 가능한 기능과 업그레이드로 시스템을 구성하고 확장할 수 있어, 단위의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 모듈식 설계는 또한 유지 보수 측면에서 유익합니다. 교체 부품은 시스템 성능이나 기능을 저하시키지 않고도 빠르고 쉽게 스왑 아웃 (swap out) 할 수 있습니다. 또한 NOVELLUS Concept 3 Speed 는 고급, 통합 모니터링, 데이터 수집 툴을 제공하여 중요한 프로세스 데이터를 실시간으로 기록하고 검토할 수 있습니다. 이 자산은 안정성이 높고 확장성이 뛰어나며, 여러 원자로 (reactor) 및/또는 생산 사이트에서 데이터를 수집하고 저장할 수 있도록 설계되었습니다. 그런 다음, 이 데이터를 사용하여 프로세스 성능, 통계적 프로세스 제어, 기타 중요한 엔지니어링/프로세스 개발 작업을 모니터링할 수 있습니다. 컨셉 3 스피드 (Concept 3 Speed) 의 고급 구성 옵션을 통해 전체 운영 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 견고하고 안정적인 시스템은 최고의 생산 품질을 유지할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 공구가 필요 없는 구성과 프로세스 레시피 간의 빠르고 깨끗한 전환을 통해, NOVELLUS Concept 3 Speed는 비용 효율적이고, 정확하며, 신속한 고급 프로세스 생산에 이상적인 기계입니다.
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