판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed #293808529
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ID: 293808529
웨이퍼 크기: 12"
HDP CVD System, 12"
(12) Cartons:
EFEM, TM
(3) Process modules
Chase monitor
Front monitor
AC Rack
RF Rack
NTU Box
NPP Rack
Transformer
Cables.
NOVELLUS Concept 3 Speed는 고급 반도체 제조를 위해 설계된 첨단 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 장비는 금속, 유전체, 그래 핀 및 기타 여러 기능성 필름을 증착 할 수있는 매우 높은 필름 순도 및 장치 수확량을 생산하도록 설계되었습니다. 컨셉트 3 스피드 (Concept 3 Speed) 에는 직경 13 인치의 챔버 크기에서 최대 30 m/min의 높은 가속도로 실행되는 소형 고속 원자로 코어가 장착되어 있습니다. 이 고속은 조절되고 균일 한 두께의 초박막 증착을 용이하게합니다. 또한 DAFS (Dual Air Flow Unit) 를 통해 동종 프로세스 매개변수와 저열 병-넥킹 (low thermal bottle-necking) 을 유지하고 정확한 웨이퍼 제어를 위한 고급 웨이퍼 척 (wafer chuck) 을 유지합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed (NOVELLUS Concept 3 Speed) 는 MFC 기반 가스 흐름 제어를 사용하여 프로세스 크리티컬 입력 및 출력을 관리하여 챔버의 정상 상태 상태를 유지하여 새로운 필름 개발 중 실험실 규모 테스트를 허용합니다. 또한 이 기계 는 소비 되는 전력 의 양 을 줄여 "에너지 '비용 을 낮게 유지 하도록 최적화 되어 있다. 프로세스 제어 도구 (process control tool) 는 고급 자동화 알고리즘을 기반으로 하여 정밀한 프로세스 제어 및 높은 신뢰성을 제공합니다. 여기에는 HMI 기술이 포함되어 있으며, 운영자는 프로세스를 쉽게 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. 이 자산은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원하며, 3 인치 배치 처리에 맞게 조정할 수 있으며, 운영 환경에서 최대의 유연성과 확장성을 제공합니다. 컨셉트 3 스피드 (Concept 3 Speed) 는 고급 CMOS 및 MEMS 장치를 제작하는 데 적합하며, 이는 장치 구조와 함께 사용하기 적합한 고품질 필름으로 인해 적합합니다. 더욱이, 고급 자동화, 확장성, 에너지 효율성 향상으로 인해, 제조업체와 연구원 모두에게 신뢰할 수있는 선택입니다. NOVELLUS Concept 3 Speed는 속도, 품질 및 정확성을 위해 설계되었습니다.
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