판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed #293592759

NOVELLUS Concept 3 Speed는 반도체 및 태양 광 산업에서 사용되는 고성능 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 더 빠른 기판 로딩 및 언로딩, 처리량 증가, 프로세스 균일성 향상 등을 제공합니다. Concept 3 Speed에는 세 가지 처리 단계가 있으며, 각각 CVD 프로세스와 다른 결과를 생성하도록 설계되었습니다. 첫 번째 단계는 플라즈마 발전기 (plasma generator) 와 자동화 된 기판 로딩을 허용하는 회전 목마 제어 도가니 (carousel-controlled crucible) 로 구성됩니다. 이 단계 는 "플라즈마 '반응 에 사용 되는" 가스' 를 조절 함 으로써 원하는 물질 의 고른 "코우팅 '을 보장 하는 데 도움 이 된다. 두 번째 단계는 고속 증착을 위해 설계되었으며 Shielded Multi-UT ™ (Uniforly Tapered) 쇼어 헤드를 사용합니다. 이 쇼어 헤드 (showerhead) 는 증착 가스의 정확하고 균일 한 분포를 제공하여 더 빠르고 더 높은 필름 증착률을 초래하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 3 단계는 기판의 고속 증착과 빠른 냉각을 가능하게하기 위해 사용됩니다. 그것은 쿨 다운 챔버 (Cool-down Chamber) 로 구성되며, 기판 표면을 직접 냉각시켜 필름 냉각을 가능하게하고 재료 온도를 낮춥니 다. 이렇게 하면 과열 위험 을 줄일 수 있으므로, 원치 않는 결과 를 초래 할 수 있습니다. 또한, 3 단계는 또한 챔버를 깨끗하게 유지하기 위해 챔버 내부 부피에 존재하는 가스를 대피시키는 저압 시스템 (low-pressure system) 을 통합합니다. 결론적으로, NOVELLUS Concept 3 Speed는 기판 적재 및 언로드, 처리량 향상 및 프로세스 균일성을 향상시키는 고급 고성능 CVD 원자로입니다. CVD 공정 중 기판에 정확하고 일관된 코팅을 제공하기 위해 각각 다른 필수 기능을 위해 설계된 3 단계 (stage) 로 구성됩니다.