판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed XT #9382870

NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor는 무거운 에칭 및 고도의 CVD 증착을위한 혁신적인 혁신적인 기술입니다. X 시리즈는 특허를 획득한 모듈식 장비로, 처리 시간 단축, 균일성 향상, 수율 증가를 가능하게 합니다. 다양한 기판을 갖춘 대용량 생산에 적합합니다. 컨셉트 3 스피드 XT 리액터 (Concept 3 Speed XT Reactor) 는 3단계 구성, 견고한 설계, 뛰어난 프로세스 제어를 통해 가장 까다로운 프로세스에 대한 탁월한 정확성과 재현성을 제공합니다. 원자로는 매우 다재다능하며 습식 및 PECVD 방법으로 작동 할 수 있습니다. 오픈 케이지 (open-cage) 구성을 통해 이전 모델에 비해 프로세스 균일성이 높아지고 운영 비용이 절감됩니다. 열생산 (heat generation) 을 줄이고 단위의 효율을 극대화하는 통합 열전달 시스템 (integrated heat transfer system) 으로 에너지 효율성도 높다. 통합 (Integrated) 도구 제어를 통해 복잡한 레시피를 효율적으로 처리하고 프로세스를 신속하게 설정할 수 있습니다. NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor (NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor) 는 오염 위험을 줄이고 생산성을 향상시키는 자동 클리닝 머신을 갖춘 동급 최고의 반사 및 흡수 재료 처리 기능을 제공합니다. 자동 심 (Auto-shim) 기능을 사용하면 변화하는 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 도구 표면 수준을 쉽게 조정할 수 있으며, 가스 처리 (gas-handling) 도구는 고급 가스 흐름 제어에 통합 센서를 사용합니다. Concept 3 Speed XT Reactor는 고급 프로세스 모니터링 기능을 갖춘 제품 기판에서 업계 최고의 낮은 입자 수준을 제공합니다. 이 원자로는 압력과 온도 조절 (tight pressure and temperate control) 을 통해 높은 수준의 공정 품질 및 신뢰성을 보장하며, 기판 범위에서 가장 높은 수익률 (yield-to-cost ratio) 을 제공합니다. 또한 높은 수준의 유연성을 제공하여 각 고객 (customer) 과 해당 애플리케이션 (application) 에 맞게 운영 프로세스를 손쉽게 재구성할 수 있습니다. NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor는 요구 사항이 까다로운 대용량 생산을 위한 완벽한 선택입니다. 견고하고 안전한 설계, 통합 열 전송 자산, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 최고의 성능과 균일성을 보장합니다. 자동 심 (Auto-shim) 및 가스 처리 (gas-handling) 모델은 여러 기판 및 복잡한 레시피를 보다 빠르게 설정하고 보다 효율적으로 처리합니다. 또한, 저입자 디자인은 최고 수익률과 동급 최고의 공정 품질을 보장합니다.