판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9258492

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor는 반도체 제작 공정을 위해 특별히 설계된 모듈식 고 처리량 진공 장비입니다. 이 시스템은 원자로 챔버 (Reactor Chamber), 펌핑 장치 및 공정 모듈로 구성됩니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 독특한 스테퍼 모터 구동 강철 프레임으로 작동 중 상하 또는 주위로 이동하도록 설계되었습니다. 이 제품은 증착, 에치 (etch), 서피스 수정 등 여러 애플리케이션에 대해 구성할 수 있는 높은 처리량의 모듈식 로드 락 (loadlock) 머신을 갖추고 있습니다. 펌핑 도구는 진공 펌프, 스로틀 밸브, 가스 스로틀 라인 및 필터로 구성됩니다. 저압 및 고압 작동을 가능하게 하는 높은 처리량 투석 에셋이 있습니다. 진공 펌프 (vacuum pump) 는 안정적이고 효율적인 깨끗한 작동을 보장하는 멀티 스테이지 설계를 갖춘 반면, 스로틀 (throttle) 밸브는 모델 압력을 조정하여 최적의 성능을 제공합니다. 또한 가스의 흐름과 온도를 정확하게 제어 할 수있는 프로그래밍 가능한 열 컨트롤러 (thermal controller) 와 가스 스로틀 라인 (gas throttle line) 도 있습니다. 프로세스 모듈은 CONCEPT 3 Speed XT Reactor의 가장 중요한 구성 요소입니다. 여기에는 공정 챔버, 격리 영역, 전원 공급 장치, 공정 자동화 및 극저온 시스템이 포함됩니다. 이 공정 챔버 (process chamber) 는 화학 및 결정질 구조에서 균일성에 대한 독점적 인 균질 공정 제어를 특징으로합니다. 또한 높은 처리량을 위한 하드웨어, 소프트웨어, 자동 로봇 자동화 기능도 갖추고 있습니다. 격리 영역 (isolation region) 은 챔버의 활성 환경으로부터 민감한 구성 요소를 분리하여 장비의 지속적인 작동을 보장합니다. 전원 공급 장치는 효율적인 작동을 위해 고정밀 DC 전압을 제공합니다. 마지막으로, 극저온 시스템은 열을 줄이고 공정의 균일성을 향상시킵니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor는 처리량이 높은 고유한 기능을 갖춘 고급 모듈식 반도체 구성 장치입니다. 모듈식 적재장치 (loadlock machine) 는 다양한 어플리케이션을 수용하도록 쉽게 구성할 수 있으며, 펌핑 도구는 매우 효율적이고 안정적입니다. 공정 모듈 (process module) 은이 자산의 중심이며, 화학 및 결정 구조의 효율적이고 정밀한 제어를 자랑합니다. 이 모델은 모든 반도체 제작 프로세스에 이상적이며, 매우 높은 처리량에서 빠르고 안정적인 처리를 제공합니다.