판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9294439

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 금속 및 기타 박막 재료의 증착을위한 고속, 정밀 조작 원자로입니다. 이 장비는 반도체, MEMS, 태양전지 산업에서 사용하도록 설계되었으며, 가장 까다로운 응용프로그램에 대한 고급 측정 (advanced metrics) 을 제공할 수 있습니다. Concept 3 Speed NEXT는 저온, 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 기반으로하며, 이는 다양한 금속 원소를 증착 할 수있는 저압 수소 기반 플라즈마 생성기를 특징으로합니다. 이 시스템은 0.6 ~ 0.7 mTorr 사이에서 작동하여 탁월한 프로세스 제어 및 유연성을 제공합니다. 또한, ICP 소스는 가우시안 (Gaussian) 모양의 플라즈마 플럭스 (plasma flux) 로 인해 프로세스 균일성을 증가시켜 균일 성의 가능성을 줄입니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT (NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT) 는 다양한 제품 크기로 작업할 때 유연성을 제공하는 컴팩트한 모듈식 설계를 제공합니다. 이 장치는 균일 한 필름 성장률을 유지하기 위해 전구체의 비율을 균형 잡히는 가스 분배기 (gas distribution machine) 를 특징으로합니다. 이 도구의 자동 중심 위치 지정 (automated center locating) 기능은 생산 중 약간의 제품 동작 때문에 발생할 수 있는 정렬 오류를 수정합니다. 컨셉 3 스피드 넥스트 (Concept 3 Speed NEXT) 는 "직접 주입 (direct injection)" 증착 기술로 인해 다양한 제품 구조에 걸쳐 높은 필름 스텝 커버리지를 사용하여 처리할 수 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 형상이 있는 개별 금속 레이어를 형성할 수 있습니다. 이 개념은 최대 100 25 미크론 명목상 직경의 최적의 웨이퍼-투-웨이퍼 반복 정확도를 위해 우수한 웨이퍼 크기 반복성 자산을 포함합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 최첨단 안전 및 제어 기능으로 제작되었습니다. 질소 차폐 선박 및 지능형 운영자 안전 기능은 모든 위험한 프로세스 재료로부터 직원을 보호합니다. 또한 고급 유지 보수 모니터링 (Maintenance Monitoring) 및 진단 기능으로 인해 프로세스 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 첨단 기술은 최고의 속도와 정밀도를 제공합니다. 컨셉 3 스피드 넥스트 (Concept 3 Speed NEXT) 의 고급 증착 컨트롤로 인해 고품질의 결과와 뛰어난 레이어 균일성을 얻을 수 있습니다. 이 장비는 안정적이고 정확한 증착 (deposition) 프로세스를 통해 수익률과 처리량을 극대화하고 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 까다로운 박막 코팅 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션입니다.