판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9235680

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 고급 반도체 응용을 위해 특별히 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 제품은 polysilicon, silicon oxide 및 기타 애플리케이션을 위한 최고의 처리량 솔루션을 제공합니다. Concept 3 Speed NEXT 원자로는 특허 블레이드 카세트 전달, 로봇 자동화 및 다중 온도 영역 기능을 포함한 NOVELLUS 최신 고급 기술을 통합합니다. 혁신적인 설계로 탁월한 제조 품질과 비용 효율성을 보장합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 저압 3 단 챔버, 예열실 및 4 방향 밸브가있는 가스 박스를 포함합니다. 저압 챔버에는 고품질 난방 및 냉각 요소, 초저열 드리프트 및 저압 제어가 장착되어 있습니다. 금속으로 늘어선 포트를 사용하면 기판 로딩 및 언로드를 빠르게 수행할 수 있습니다. 예열 챔버 (preheat chamber) 는 최대 증착률을 보장하기 위해 추가 온도 조절을 제공합니다. 이 시스템은 다중 영역 가열/냉각 척 및 가열/냉각 벽을 통해 정확한 온도 제어를 제공합니다. 필름 두께, 그레인 크기, 프로세스 균일성을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 또한 실란, 육불화 황, 헬륨을 포함한 전구체 가스의 저압 전달을 제공합니다. 장치 중심의 4 방향 밸브는 빠르고 정확한 전구체 전달 및 빠른 반응 시간을 허용합니다. Concept 3 Speed NEXT 는 처리량을 극대화하기 위해 설계된 고급 데이터 시스템 호스트도 갖추고 있습니다. 빠르고 신뢰할 수있는 로봇 암으로 웨이퍼가 빠르고 효율적으로 배치됩니다. 높은 수준의 자동화를 통해 빠르고 쉬운 레시피 프로그래밍을 통해 예금을 밀리초 (밀리초) 단위로 만들 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 가장 진보 된 반도체 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 매우 고급 원자로 기계입니다. 탁월한 정확성, 속도, 프로세스 균일성을 제공하여 오늘날의 제조업체에게 완벽한 선택입니다.