판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9203466
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판매
ID: 9203466
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
CVD System, 12"
System information:
Process: STI/IMD
Slit valve type: SMC L-Motion
TM Turbo pump model: PFEIFFER TMH261 PXS
TM Throttle valve model: MKS
TM Baratron model: MKS
Loadlock baratron: MKS
IOC Version: V 4.6
TM Robot type: Mag 7
TM Robot blade: Ceramic
Wafer sensor: Existence
Single tower
Front monitor: 12" LCD
Fab
EMO's: Push button
Host interface: GEM
ATM Robot: ATR8
VAC Robot: MAG 7
Loadlock valve: SMC
ATM Loadlock valve: VAT
Pod loader: BROOKS Fixload 6M
Module A / B / C:
Chamber type: NeXT
Chamber Process: SIT/IMP
Process clean type: NPP RPC
Module controller: MC3
Module turbo pump: LEYBOLD MAGW2000CT
Pendulum valve: MKS
Temperature monitoring: NTM500
HF Generator: AE 10K
MF Generator: AE PDX_5000
LF Generator: AE PDX_8Q00
RF Match: AE Navigator 10013 U
IOC Version: V4.72
Dual clean injector kit
Injector type: Star short
Louvered screen
Pedestal lift type: Servo motor
Foreline type: Large
EPD
Black shield
Module A:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module B:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS GF125C
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module C:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS GF125C
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
UPS Power: 120 V, 3￠, 3 Wires
Power: 208 V, 3￠, 5 Wires
2005 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT 원자로는 연마 제어, 효율성 및 반복성의 상당한 발전을 제공하도록 설계된 최첨단 CMP (chemical-mechanical planarization) 도구입니다. Concept 3 Speed NEXT는 빠른 증착을위한 PECVD 기술과 향상된 성능을 위해 독특한 고속 단거리 연마 장비를 사용합니다. 이 시스템은 기존의 CMP 시스템에 비해 향상된 처리량, 향상된 균일성, 뛰어난 반복성을 제공 할 수 있습니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT의 고급 선형 동작 포지셔닝 메커니즘을 사용하면 더 빠르고 정밀한 연마 작업을 수행할 수 있습니다. 이것은 섬세한 지형으로 높은 생산 실행에 이상적입니다. 독특한 디자인은 또한 연마 과정과 관련된 웨이퍼 손상을 크게 줄입니다. Concept 3 Speed NEXT는 또한 CMP 작업 중에 웨이퍼 표면에 균일 한 온도를 유지하는 전기 열 안정화 장치 (electro-thermal stabilization unit) 를 특징으로하여 일관된 연마 결과를 제공합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 최적의 성능을 보장하기 위해 여러 고급 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 자동으로 연마 속도, 힘, 압력을 설정하는 닫힌 루프 서보 메커니즘 (closed-loop servo mechanism) 과 동적 압력 보상 기계 및 온도 조절 청소 기능이 포함됩니다. 반응성 챔버 (reactive chamber) 는 또한 연마 과정에서 화학 프로모터 및 억제제를 첨가하여 CMP 결과를 개선 할 수있다. 컨셉 3 스피드 넥스트 (Concept 3 Speed NEXT) 는 또한 세라믹 난방 요소 및 자동 웨이퍼 카세트로드 기능과 같은 다양한 안전 기능을 통해 잠재적 부상을 더욱 최소화합니다. 고급 진단 및 예측 유지 관리 도구는 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT가 항상 최대 작동 상태인지 확인합니다. 요약하면, Concept 3 Speed NEXT는 신뢰할 수있는 최첨단 화학 기계 연마 도구입니다. 고급 기능은 기존 CMP 시스템에 비해 탁월한 처리량, 균일성 및 반복성을 제공합니다. 수많은 정교한 제어 시스템이 최적화된 성능과 안정적인 결과를 보장합니다. 또한, 안전 기능 및 예측 유지 관리 도구는 부상의 위험을 더욱 최소화합니다.
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