판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9170858

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT는 기판에 초박막 형성을위한 최첨단 원자로입니다. 이 원자로는 3 단 사이클 접근 방식을 기반으로하며, CVD 프로세스를 최대 50% 단축하도록 설계되었습니다. "박필름 '과" 스텝' 을 단 몇 초 만에 형성 할 수 있어 시간 과 돈 을 절약 할 수 있다. Concept 3 Speed NEXT 원자로는 3 개의 독립적 인 소스와 포탑 헤드로 구성됩니다. 세 가지 원천은 헬륨, 질소 및 아르곤입니다. 포탑 헤드에는 3 개의 정전기 감금 포트, 2 개의 응용 이온화 플라즈마 소스, 1 개의 중화 종이 장착되어 있습니다. 혈장 공급원은 반응 속도를 높이고 필름 특성을 향상시킵니다. 3 소스 개념의 주요 이점은 균일 한 필름 두께, 열 손상 감소, 증착 매개변수 (deposition parameter) 의 완전한 제어입니다. 3 단 사이클 접근은 압력, 온도 및 반응물 농도를 변경함으로써 작동합니다. 이것은 매우 얇은 필름 또는 짧은 증착 시간에 단계의 형성을 허용합니다. 3 단 사이클은 필름을 전체 기판에 균일하게 증착 할 수 있도록 보장합니다. 이것은 3 개의 소스의 균형 잡힌 온도 분포, 향상된 반응물 확산, 민감한 기판에 대한 낮은 열 손상 (low thermal damage) 을 통해 가능합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT 원자로는 필름 형성의 전체 품질을 향상시키면서 처리량을 증가시키도록 설계되었습니다. 높은 처리량 (Throughput) 기능을 갖추고 있어 운영 환경의 변화하는 요구에 보다 신속하게 대응할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 표면에서 개선 된 프로세스 제어, 균일 한 필름 두께 및 개선 된 균일성을 제공합니다. 전반적으로, Concept 3 Speed NEXT 원자로는 고도로 균일 한 필름 및 고급 장치 제작 단계를 만드는 강력하고 유연한 도구입니다. 이 제품은 비용 및 시간 효율성을 모두 제공하며, 이는 다른 기술로는 비교할 수 없습니다. 따라서, 매우 정밀하고 안정성이 필요한 다양한 어플리케이션에 적합합니다.