판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9410799

NOVELLUS Concept 3 Speed Max는 반도체 제조에 사용되는 고급 화학 증기 증착 원자로입니다. 최첨단 반도체 기술을 지원하기 위해 고성능 (HPT) 과 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 고유 한 2 단계 다중 주파수 스트립 장비를 사용하여 높은 수준의 기판 가열 균일성, 개선 된 플라즈마 균일성, 개선 된 공정 반복성을 제공합니다. 컨셉 3 스피드 맥스 (Concept 3 Speed Max) 에는 모듈식 아키텍처가 있어 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 원자로는 광범위한 가스 흐름, 온도, 압력을 유지할 수 있으며, 이를 통해 증착 과정을 최적으로 제어 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 균일 한 간격 채우기 및 밀도 제어를 보장하는 실시간 온도 보상 (real-time temperation compensation) 과 교차 오염을 줄이고 로드 및 언로드 시간을 향상시키는 자동 웨이퍼 전송 (Automated Wafer Transfer) 기술을 갖추고 있습니다. NOVELLUS Concept 3 Speed Max에는 완전하게 자동화된 종점 감지 장치가 있으며, 반복 가능성을 향상시키는 동시에 더 빠른 주기를 제공합니다. 원자로에는 실시간 데이터 분석 (data-time data analysis) 과 프로세스 최적화 (process optimization) 가 가능한 데이터 획득 기계도 있습니다. 이 도구는 또한 열 충격 감소 자산 (Thermal Shock Reduction Asset) 을 사용하여 전면 표면 균일성을 향상시키고 핫스팟을 방지합니다. 이를 통해 스트레스로 인한 결함을 줄이고 장치의 장기적인 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다 (영문). 이러한 모든 기능을 통해 Concept 3 Speed Max는 사용 가능한 가장 고급 원자로 중 하나입니다. 원자로는 탁월한 성능, 반복성을 제공하여 생산성 향상, 생산량 향상, 신뢰성 향상 등의 효과를 제공합니다. 또한, 이 제품은 각 사용자의 요구 사항에 따라 완벽하게 확장 가능하고, 구성할 수 있도록 설계되었습니다. NOVELLUS Concept 3 Speed Max는 고품질, 고성능 결과를 추구하는 모든 반도체 제조업체에 혜택을 줄 수있는 강력한 증착 솔루션입니다.