판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9281511

NOVELLUS Concept 3 Speed Max는 차세대 반도체 장치 제작 프로세스를 위해 설계된 차세대 고급 플라즈마 원자로입니다. 고급 (Advanced) 기술을 활용하여 높은 균일성과 높은 처리량을 제공하여 고급 디바이스 구성 (Advanced Device Fabrication) 의 엄격한 요구 사항을 충족합니다. Concept 3 Speed Max는 LPD (Low-Pressure Plasma Deposition) 기술의 최신 발전을 활용하여 높은 공정 수익률과 반복 성을 제공합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed Max (NOVELLUS Concept 3 Speed Max) 의 고급 설계 및 엔지니어링을 통해 전체 기판에 걸쳐 증착 된 필름의 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 컨셉 3 스피드 맥스 (Concept 3 Speed Max) 는 가변 이온화 된 소스 기술을 사용하여 증착 프로세스를 제어하여 더 높은 정도의 균일성과 더 효율적인 프로세스를 허용합니다. 또한 NOVELLUS Concept 3 Speed Max에는 고속 플라즈마 생성기가 포함되어 있어 처리량이 높을수록 더 효율적인 프로세스가 가능합니다. 이 설계를 통해 장비는 다양한 기판 높이와 표면 토폴로지 (topology) 를 정확하게 스캔하고 조정하여 그림자를 최소화할 수 있습니다. 고속 스캐너 (High-speed scanner) 는 증착 단계에서 전체 기판을 더 빠르게 스캔하여 처리량 및 균일성을 증가시킵니다. 최종 결과는 디바이스 운영 속도 증가입니다. 또한, 컨셉 3 스피드 맥스 (Concept 3 Speed Max) 의 가스 분포 시스템은 증착 과정을 정확하게 제어하여 전체 기판에 균일 한 표면 특성을 제공합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed Max의 고급 현장 모니터링 기능은 정확한 프로세스 제어를 보장합니다. 고급 모니터링 장치 (Advanced monitoring unit) 는 온보드 카메라와 통합 현미경을 통합하여 전체 증착 과정에서 기판 표면을 관찰합니다. 이 모니터링 머신 (monitoring machine) 은 상세한 프로세스 정보와 제조 단계에서 발생하는 모든 프로세스 문제를 감지하는 기능, 프로세스 변동성 최소화, 프로세스 수율 최적화 등의 기능을 제공합니다. Concept 3 Speed Max는 또한 고급 기판 프로브 배치를 위해 자동 웨이퍼 그리퍼 기술을 갖춘 강력한 클리닝 및 기판 준비 프로세스를 포함합니다. 이 다중 스테이션 적응 로봇은 정확한 프로브 배치를 보장하고 일관된 웨이퍼 단일화를 보장합니다. 고급 공정 제어에는 종합적인 화학 레시피 라이브러리, 온보드 실시간 수정 및 기질 간 변이 감소 된 평가 (evaluation) 가 포함됩니다. 또한, 고급 프로세스 제어는 전체 웨이퍼에서 균일 한 필름 두께를 보장합니다. NOVELLUS Concept 3 Speed Max는 최첨단 플라즈마 원자로로, 처리 수율 및 균일성을 개선하고 처리량을 높이도록 설계되었습니다. 가변 이온화 소스, 고속 플라즈마 제너레이터, 고급 in-situ 모니터링, 고급 프로세스 제어, 자동 웨이퍼 그리퍼 (automated wafer gripper) 기술 등 툴에 사용되는 고급 기술은 고급 장치 제작을 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.