판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9259681
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판매
ID: 9259681
CVD System, 12"
Wafer type: Notch
Signal tower
PEC Module
Foop: BROOKS AUTOMATION
Foop type: 3-Port
BROOKS Magnatran 7 TM Robot
TM Robot blade: Ceramic
Load lock convectron: 275 min
L/L Baratron: MKS
TM Baratron: MKS
L/L Slit valve type: VAT
Module slit valve type: SMC
PFEIFFER TM Turbo pump
MKS TM Throttle valve
VAT TM Line valve
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
ATM Robot blade: Arm metal
AWC Sensor
UI Type: LCD
EMO's: Push button
Host interface: SECS
Chaser: CRT Monitor
IOC Version: 4.72
SSD Type: C3-PDRS
(3) SMC XGT300-30-1A-X2 TM Value, P/N: 60-251903-00
Load lock value: VAT 03012-LA24-0001/0503, A-62591
Chamber A, B and C:
Chamber type: Speed max
Chamber process: ILD
ESC Type: Notch
Manometer (10T): MKS
Manometer (30T): MKS
Manometer (100m): MKS
Throttle valve: NC TBV-IQA-200-NW-50
Dual pedestal lift
LEYBOLD MAG200CT Turbo pump
ESC / Dome Cooling
Dual clean injector kit: Single RPC
Process clean type: RPC
Temperature monitoring: Dome monitor 201
ADVANCED ENERGY 10013 Navigator RF Match
VERITY EPD, P/N: 1005972
Black shield
MOOG SMART Motor
No module dry pump
Chamber A:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2/CF: 0.727 / 1.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / N2 / 300 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber B:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber C:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 0.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Missing parts:
MC3 Controller: MKS AX7670-21 3L Remote Plasma Source (RPS)
NTM Delta controller
PDX 5000 / PDX 8000 / Apex 10K Generators
Turbo pump controllers
Missing parts for chamber A, B and C:
Apex 10013 HF Generator
PDX 8000 MF Generator
PDX 5000 LF Generator
NTM
Uninterruptable Power Supply (UPS): 208 V, 50/60 Hz, 4-Wires
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 5-Wires
2007 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed Max는 개선 된 재료 필름 형성 및 공정 시간 단축 기능으로 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 주로 반도체 산업, 특히 유전체 및 금속의 증착에 사용하기 위해 개발되었습니다. Speed Max 원자로는 반응 챔버, 공정 가스 전달 장비, 제어 시스템 및 난방 장치로 구성됩니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 정확한 증착률을 보장하기 위해 자동 액세서리가 장착 된 유리 밀폐 된 스테인레스 스틸 선박입니다. 공정 "가스 '전달 기계 는" 가스' 의 압력, 온도 및 습도 를 조절 하고 조절 할 수 있게 해 준다. 가열 도구 (heating tool) 는 강력하며 챔버 전체에 균등한 온도를 유지하도록 설계되었습니다. 원자로에는 공정 압력 (process pressure), 온도 (temper), 가스 흐름 (gas flow) 및 증착률과 같은 공정 매개변수의 정확한 조작이 가능한 고급 제어 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델을 통해 온도, 압력, 가스 흐름을 포함한 챔버 (chamber) 조건에 대한 실시간 모니터링도 가능합니다. 스피드 맥스 (Speed Max) 는 또한 재료 증착 시간을 최소화하도록 설계된 독특한 배치 스타일 증착을 특징으로합니다. 원자로 (reactor) 는 미리 정해진 배치에 필름을 배치하도록 사전 프로그래밍 될 수 있으며, 보다 빠르고 자동화된 생산이 가능합니다. 또한, 여러 기판 홀더를 사용하여 장비를 구성하여 공정 속도를 높일 수 있습니다. 원자로는 또한 뛰어난 공정 반복 능력을 제공하도록 설계되었으며, 이는 만족스러운 필름 형성을 보장하는 데 필수적입니다. 또한, 시스템의 고급 소프트웨어 (advanced software) 는 환경 조건에 관계없이 반복 가능한 프로세스 결과를 보장합니다. 마지막으로, 소프트웨어는 또한 잠재적 프로세스 문제를 진단하고 최적화하는 데 도움이됩니다. Concept 3 Speed Max는 강력하고 고급 원자로이며 반도체 제조업체를위한 필수품입니다. 반복 가능한 결과로 가장 정확하고 빠른 증착 프로세스를 약속합니다. 스피드 맥스 (Speed Max) 는 이제 최신 증착 방법을 찾고 있는 업계의 직원들에게 경쟁 우위를 제공합니다.
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