판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9235679

NOVELLUS Concept 3 Speed Max (C3S Max) 는 화학 증기 증착 (CVD) 처리에 반도체 산업에 사용되는 고급 도구입니다. 이 원자로는 뛰어난 균일성을 지닌 박막 (Thin Film) 재료를 신속하게 처리할 수 있도록 설계되었으며, 다양한 기능을 갖추고 있어 고품질의 박막 (Thin Film) 을 효율적이고 안정적으로 생산할 수 있습니다. C3S Max에는 회전 가능한 기판 전송이있는 하단 단계, 1 차 챔버, 회전 가능한 상단 전극 및 기타 요소 (예: 컨트롤러) 를 포함한 다수의 코어 구성 요소가 있습니다. 하단 단계 는 상단 과 하단 의 전극 사이 의 기판 을 수송 하여 "박막 '을 만든다. 이 챔버 (Chamber) 는 생산 실행 중에 높은 처리량을 유지하기 위해 매우 효율적이도록 설계되었습니다. 또한 박막 증착, 어닐링, 에칭, 진단, 환경 제어 및 레시피 제어와 같은 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 상단 전극은 C3S Max 장비의 중요한 부분이며, 박막 (Thin film) 을 만드는 데 필요한 에너지를 제공하는 책임이 있습니다. 전극은 조절 가능하도록 설계되어, 각기 다른 수준의 전력과 증착 된 필름 (deposited film) 의 다른 모양을 가능하게합니다. 이렇게 하면 응용 프로그램 요구 사항에 따라 두께와 모양이 다른 필름 (영화) 을 제작할 수 있습니다. 컨트롤러 (Controller) 는 시스템의 명령 중심으로서, 성능을 최적화하기 위해 레시피를 입력하고, 프로세스 결과를 검토하고, 장치를 모니터링하고, 필요한 매개변수를 조정하는 데 필요한 도구를 운영자에게 제공합니다. 또한, 이 컨트롤러를 통해 연산자는 여러 기판에 대한 레시피를 입력하여 기계를 자동화할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS C3S Max는 고성능 박막 제작을위한 고급 도구입니다. 연산자는 다양한 구성요소의 조합을 통해 뛰어난 반복성 (repeativity) 과 균일성 (unifority) 을 갖춘 필름을 제작할 수 있으며, 동시에 다운타임을 최소화하면서 효율적이고 안정적인 제작이 가능합니다. 또한 공구의 조정 가능 매개변수 (adjustable parameters) 를 사용하면 필름 두께와 모양을 빠르고 정확하게 조정할 수 있으며, 특정 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 에셋을 사용자 정의할 수 있습니다.