판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9167157

NOVELLUS Concept III Speed Max는 반도체 산업에서 박막 증착을 위해 설계된 고성능 수직 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 높은 생산성, 확장성 및 구성 가능한 플랫폼입니다. 원자로 (reactor) 는 금속에서 다결정 실리콘 (polycrystalline silicon) 까지 광범위한 증착 과정을 수행 할 수 있으며, 업계 최고의 증착 속도로 수행 할 수 있습니다. NOVELLUS Concept III Speed Max는 사용자를 염두에두고 설계되었습니다. 이 플랫폼은 다양한 작동 조건에서 구성, 유지 관리, 운영이 간편합니다. 완전 자동화 된 챔버, 조절 가능한 가스 흐름 및 압력, 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스 매개변수를 지원하는 운동학적 연결 (kinematic linkage) 이 특징입니다. 챔버에는 플로우 스루 가스 전달 시스템 (flow-through gas delivery system) 이 있어 수동 밸브 유지 보수가 필요 없습니다. NOVELLUS Concept III Speed Max (NOVELLUS Concept III Speed Max) 는 높은 처리량과 높은 선택성으로 최대 5개의 다른 재료를 동시에 배치할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 약실 은 또한 높은 처리율 로 균일 한 두께 의 "필름 '을 입금 할 수 있도록 설계 되었다. 또한, 원자로는 다양한 웨이퍼 크기에 맞게 조정 할 수있는 조절 가능한 기판 홀더 (substrate holder) 를 특징으로하며, 챔버 (chamber) 가 최고 성능으로 실행되도록 각 재료에 대해 정확하게 조정되는 조절 가능한 반응 존 (reaction zone) 을 포함합니다. NOVELLUS Concept III Speed Max는 다양한 응용 프로그램에 대한 고급 CVD 증착을 제공하는 다용도 플랫폼입니다. 박막 증착을 위해 탁월한 성능, 안전성 기능을 제공합니다 (영문). 원자로 (reactor) 는 또한 업계에서 가장 높은 처리 속도 (throughput rate) 중 하나를 제공하여, 프로세스 목표에 보다 빠르게 도달할 수 있는 빠른 주기 (cycle time) 를 제공합니다. 또한 NOVELLUS Concept III Speed Max (NOVELLUS Concept III Speed Max) 는 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 맞춤화된 맞춤형 증착 레시피 및 매개 변수를 제공하는 챔버를 구성할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Concept III Speed Max 원자로는 고성능, 다용도 및 구성 가능한 증착 플랫폼으로, 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 적합합니다. 광범위한 프로세스 (process) 기능을 제공하며, 여러 재료에 대해 높은 처리량과 선택성을 제공할 수 있습니다.