판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 PDRS #293752504

NOVELLUS Concept 3 PDRS (Pre-clean, Deposition 및 Rapid Thermal Annealing) 원자로는 고급 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 혁신적인 최첨단 반도체 처리 도구입니다. 이 최첨단 툴은 단일 플랫폼에 여러 프로세스를 결합하여 최첨단 반도체 디바이스의 효율적, 높은 처리량을 제공합니다. 컨셉트 3 PDRS (Concept 3 PDRS Reactor) 에는 고급 프로세스 모듈이 장착되어 있어 하나의 시스템에서 원활하고 효율적으로 사전 청소, 증착, 신속한 열 연관 단계를 수행할 수 있습니다. 이러한 통합 접근 방식은 제조 프로세스를 간소화하고, 주기 (cycle) 를 줄이고, 전반적인 생산 효율성을 향상시킵니다. 원자로 는 여러 가지 반도체 재료 와 공정 을 수용 할 수 있도록 설계 되었는데, 이것 은 여러 가지 고급 반도체 "애플리케이션 '을 위한 다목적 도구 이다. NOVELLUS Concept 3 PDRS 원자로의 사전 청소 모듈은 증착 전 기판 표면에서 오염 물질과 잔기를 제거하는 역할을 수행합니다. (PHP 3, PHP 4) 사전 청소 모듈은 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 같은 고급 청소 기술을 사용하여 기판 표면에서 유기 및 무기 오염 물질을 제거하고 증착을위한 깨끗하고 깨끗한 표면을 만듭니다. 컨셉 3 (Concept 3) PDRS 원자로의 증착 모듈은 기판에서 박막의 정확하고 균일 한 증착을 가능하게한다. 이 모듈은 유전체, 금속, 반도체 등 다양한 재료를 매우 정밀하고 제어할 수 있습니다. 증착과정 (deposition process) 은 반도체 장치의 전기적 (electrical), 물리적 (physical) 특성을 정의하는 데 중요하며 장치의 성능과 신뢰성을 결정하는 데 중요한 역할을합니다. NOVELLUS Concept 3 PDRS 원자로의 빠른 열 어닐링 모듈은 퇴적 된 필름, 도펀트 활성화, 필름 결정성 개선 및 결함 감소에 사용됩니다. 급속한 열 부화 (Rapid Thermal Annealing) 는 증착된 필름의 재료 특성을 수정하고 원하는 장치 성능 특성을 달성하는 데 도움이 되므로 반도체 프로세싱에서 중요한 단계입니다. 컨셉 3 (Concept 3) PDRS 원자로의 빠른 열 어닐링 모듈은 기판 전체에 걸쳐 정확한 온도 조절 및 균일 한 가열을 제공하여 일관되고 안정적인 어닐링 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로 NOVELLUS Concept 3 PDRS 원자로는 고급 반도체 제조를위한 포괄적 인 솔루션을 제공하여 사전 청소, 증착 및 빠른 열 어닐링 프로세스를 단일 통합 플랫폼에 통합합니다. 이 혁신적인 툴을 통해 반도체 제조업체는 생산성 향상, 프로세스 제어 향상, 디바이스 성능 향상 등의 효과를 얻을 수 있어 오늘날 경쟁업체 시장에서 최첨단 반도체 (CB) 장치 생산에 귀중한 자산입니다.