판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Inova #9259672
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ID: 9259672
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2000
PVD Systems, 12"
Process: MPD (WTS-HV)
(4) Chamber: Q300 AL, Q300 TiN, (2) TiHCM
EFEM:
Load port: (2) FOUPs
Right with keyboard, mouse and monitor
Clean room wall interface
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
ATM
WTS-HV:
(2) BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robots
Robot blade: Ceramic, dual
SIOC: 0-4
Cryo HUB
IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
AERA UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
(2) HCM TI:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
MYKROLIS UPC (300 SCCM)
MYKROLIS Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (AL / TIN):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPW2870B10 CPI DC Power supply
Electric cabinet rack:
TREK 684-1 ESC Power supply
(2) CPW2870B10 CPI DC Power supplies
(8) DCS80-13E EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
POLYCOLD PGC-150 Chiller
POLYCOLD 1XCL Chiller
CTI 9600 Compressor
SPUD Gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
MKS 651D-16202 Throttle valve controller
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
POLYCOLD 1XCL Closed loop gas chiller
VAT Valve, P/N: 07512-UA24-0001
TMP Controller, P/N: 19-126817-00 Rev B and 88-30620-000
CTI-CRYOGENICS Controller, P/N: 823247G001
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 Generators
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2-way female
(3) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
MAG7 Robot
2000 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova Reactor는 미세 화학 물질의 합성을위한 고 처리량, 연속 유동 원자로 장비입니다. R&D 및 확장 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 제약, 농약, 맛 및 향료, 중합체 등 다양한 화합물을 합성하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치는 3 단계 연속 흐름 (continuous-flow) 원자로 설계를 특징으로하며, 다양한 재료를 안정적이고 일관되게 합성 할 수 있습니다. 제 1 단계는 반응물과 촉매를 함유하는 가열된 액체 스트림이 혼합 된 주입 성형 원자로이다. 히터는 스트림의 온도를 모니터링하고 스트림을 50 ~ 400 ° C 사이의 온도로 가열 할 수 있습니다. 제 2 단계는 동종 혼합이 발생하여 반응물을 효율적이고 완전하게 변환 할 수있는 동종 된 선박 (agitated vessel) 이다. 제 3 단계는 반응 생성물이 분리되어 수집되는 분리기 (separator) 이다. 컨셉트 3 이노바 리액터 (Concept 3 Inova Reactor) 는 온보드 가스 모니터링 기계, 과압, 유해 가스의 자동 잠금, 비상 차단 장치 등 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 원자로에는 컴퓨터 기반 제어 도구 (Control Tool) 가 장착되어 있어 자산 매개변수를 모니터링, 제어할 수 있습니다. 효율적인 프로세스 모니터링, 제어, 자동화 및 데이터 로깅을 위해 컴퓨터나 PLC (Programmable Logic Controller) 와 상호 작용할 수 있습니다. 원자로에는 반응 온도를 조절하는 데 사용될 수있는 전기 히터 (electrical heater) 가 장착되어 있습니다. 이 히터는 -50 ~ + 250 ° C 범위에서 조정할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 다양한 촉매 (catalysts) 와 함께 사용되도록 설계되었으며, 반응 조건 및 작동 변수의 변화를 수용 할 수 있습니다. 원자로 청소에 필요한 시간과 노력을 줄이기 위해 NOVELLUS Concept 3 Inova Reactor는 자동 청소 시스템을 갖추고 있습니다. 이러 한 "시스템 '은 기계적· 화학적 처리 방법 을 조합 하여 원자로 실 을 자동적· 철저 히 청소 한다. 필요 한 청소 시간 을 최대 90 "퍼센트 '까지 줄일 수 있으므로, 공정 주기 의 완성 속도 를 높일 수 있다. 컨셉 3 이노바 반응기 (Concept 3 Inova Reactor) 는 연구, 개발 및 스케일 업 응용 분야에서 작은 분자와 고급 화학 물질을 생산하기위한 매우 효율적이고 비용 효율적인 도구입니다. 3 단계 연속 흐름 (Continuous Flow) 원자로 설계, 안전 기능, 컴퓨터 기반 제어 장비 및 자동 청소 시스템은 모두 시스템의 효율성 및 효율성에 기여하며 많은 응용 프로그램에 선호되는 선택입니다.
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