판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Inova #293638673

NOVELLUS Concept 3 Inova는 기질에서 화학 종의 증착에 사용되는 결정질 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 증착 과정은 일반적으로 진공실에서 수행되며, 다양한 반도체 (semiconductor) 및 관련 재료를 만드는 데 이상적입니다. 개념 3 목표 (Goal of Concept 3) Inova CVD 원자로는 상대적으로 낮은 온도에서 결함 밀도가 낮고 균일 한 강착으로 고품질 재료를 강착 할 수 있습니다. 이노바 (Inova) 에는 2 개의 소스 2 개의 샤워 헤드 모듈 식 디자인이 있으며, 자동 입구 및 콘센트가 있으므로 기존 원자로보다 더 높은 처리량을 달성합니다. 유연한 모듈식 설계를 통해 수직/수평 웨이퍼 방향과 다양한 가스 전달 (gas delivery) 및 배기 (exhaust) 시스템이 가능합니다. 혁신적인 디자인으로, Inova는 다양한 프로세스 통합 레시피를 실행할 수 있습니다. CVD 원자로 는 여러 가지 공정 "가스 '를 이용 하며, 증착 물질 의 질 을 최대화 하기 위하여 조정 할 수 있는 훌륭 한 온도 조절 범위 를 가지고 있다. NOVELLUS Concept 3 Inova (NOVELLUS Concept 3 Inova) 는 쿼츠 입구 창 (quartz inlet window), 고급 난방 시스템 (advanced heating system) 및 지정된 프로세스에 대한 최적의 온도 범위와 균일성을 보장하는 기타 특수 하드웨어를 갖추고 있어 프로세스 최적화에 적합합니다. 또한 다중 전극 설계, 자동 로드/언로드, 자동 (automated) 기능을 통해 고객의 요구에 맞게 레시피를 조정할 수 있습니다. Inova CVD 원자로는 다양한 광전자, nanofabrication 및 MEMS 응용 분야에 대한 넓은 면적/소면적 증착 및 등각 재료 증착을 위해 설계되었습니다. 고성능 CVD (CVD) 원자로가 필요한 고객에게는 고온 기능, 실시간 엔드포인트 감지, 품질 제어 (Quality Control) 등의 고급 기능이 적합합니다. 이 시스템에는 Direct Drive Showerhead가 장착되어 있어 프로세스 제어가 정확하고 응답 시간이 빠릅니다. 또한 현장내 청소가 가능하여 필름 품질과 증착 균일 성 제어가 뛰어납니다. 전반적으로, Concept 3 Inova는 탁월한 증착 성능과 뛰어난 품질 제어 기능을 제공하는 예술 CVD 원자로 시스템의 상태입니다. 원자로는 매우 다재다능하며, 유연성이 뛰어나 다양한 반도체 (semiconductor) 및 고급 재료 증착 (advanced material deposition) 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.