판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9314932
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ID: 9314932
웨이퍼 크기: 12"
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
Interface: Right with keyboard, mouse and monitor
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
Robot blade: Ceramic, dual
No SIOC
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
PFEIFFER TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C: UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
HCM TI and HCM TAN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
MYKROLIS UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
No ESC power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
No SPUD gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
(2) MDC KAV-075-P Angle valves
VARIAN TV250 Pump
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
CTI-CRYOGENICS Roughing valve, P/N: 8112579G003
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2 way female
(4) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot.
NOVELLUS Concept 3 Inova XT는 집적 회로 제작에 사용하도록 설계된 최첨단 원자로입니다. 이 원자로는 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD) 및 물리적 증착 (PVD) 과 같은 고급 고온 공정을 사용하여 박막 증착을 능가합니다. 그것 은 구리, "티타늄 '," 알루미늄' 및 "실리콘 '산화물 을 포함 하여 여러 가지 다른 성분 을 만드는 데 사용 할 수 있는 여러 가지 물질 을 증착 할 수 있다. 이 원자로는 3 가지 주요 구성 요소 (플라즈마 소스, 메인 챔버 및 배기 타워) 로 구성됩니다. 혈장 공급원 (plasma source) 은 공정 챔버에서 가스 원자의 이온화를 일으키는 고 에너지 분자의 공급원을 지시합니다. 이를 통해 처리 된 물질과 반응할 수 있습니다. 주 "챔버 '는 가공 하는 재료 를 보유 하고 있으며, 장비 의 온도 와 압력 을 조절 한다. 배기 "타워 '는 오염 된 입자 들 이 반응 으로부터 멀리 떨어져 있고 모든 물질 이 가공 되는 데 도움 이 된다. 개념 3 Inova XT는 뛰어난 반복성으로 매우 정확한 프로세스를 할 수 있습니다. 멀티 존 (multi-zone) 제어는 작업 전반에 걸쳐 오염 문제를 만들지 않고 균일 한 증착을 달성하는 데 도움이됩니다. 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 에 대해 프로그래밍할 수 있으며, 이를 통해 박막 성능을 극대화할 수 있습니다. 이 원자로의 주요 챔버 (main chamber) 는 고온 절연을 통해 챔버 전체의 열 균일성과 우수한 열 효율성을 제공합니다. 이렇게 하면 온도가 최적의 작동 매개변수 내에 유지되도록 할 수 있습니다. "가스 '의 위치 와 가공 중 의" 가스' 의 표적 재료 들 을 정확 하게 제어 할 수 있는 자동화 된 "시스템 '도 갖추어져 있다. 이를 통해 프로세스 반복성이 최적화됩니다. 또한 NOVELLUS Concept 3 Inova XT에는 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어가 가능한 실시간 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 전반적으로, 컨셉트 3 이노바 XT (Concept 3 Inova XT) 는 구리 통합 프로세스와 다른 여러 관련 프로세스 모두에 대한 뛰어난 박막 증착 기능을 제공하는 고도의 원자로 기계입니다. 고온, 다중 구역 제어는 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 증착과 뛰어난 열 효율성을 제공합니다. 또한 전체 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있어 프로세스 반복성 (Optimized Process Repeatability) 을 극대화하고 최대한의 박막 프로세스 성능을 위한 최적 설정 (Optimum Settings) 을 선택할 수 있습니다.
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