판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9259673
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9259673
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
Degas: Left and right
(2) Q300 AL
Q300 TIN
HCM TIN
HCM TAN
Cooler
EFEM / WTS-HV
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
User interface location: Right with keyboard, mouse and monitor
User interface configuration: Clean room wall interface
(25) Wafers / FOUPs
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
(2) Magnatran 7 Robots
Robot blades: Ceramic, dual
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
Left and right load lock:
(2) PFEIFFER TMH 071P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
Left and right degas:
(2) PFEIFFER TMU 521P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
PFEIFFER / BALZERS TMH 071P Turbo pump
(2) Q300 AL and Q300 TIN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
AERA FC-980C Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
INFICON Ion gauge
ANAFAZER Module
HCM TI and HCM TAN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
MKS Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
(4) CTI 9600 Compressors
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
MPD (WTS-HV)
General rack:
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova XT는 논리적 확장 기술의 한계를 확대하기 위해 설계된 혁신적인 원자로입니다. 원자로는 인트라 다이 (Intra-die) 에치 공정을 사용하여 반도체 웨이퍼의 피쳐의 모양, 크기 및 프로파일을 제어합니다. 이노바 XT 원자로는 정확성과 정확성이 필요할 때 마이크로 패턴 적용 (micro patterning application) 에 이상적입니다. 이노바 XT (Inova XT) 원자로는 독자적이고 특허받은 플럭스 공동성 (flux cavity) 설계를 사용하여 정확도가 높은 정밀 에칭을 달성 할 수 있습니다. 원자로는 플라즈마 소스 (plasma source) 로 구성되며, 이는 단일 연산자로 제어 할 수있는 코스 및 미세 노즐 장비와 통합되어 있습니다. 이 시스템은 세밀하게 제어된 에치 속도를 유지하면서 잘 정의된 에치 프로파일 (etch profile) 을 생성할 수 있습니다. Inova XT 원자로는 점점 더 엄격한 고급 프로세스 요구 사항을 충족하도록 조정되었습니다. 원자로 (reactor) 에는 모든 마지막 방울을 사전에 제거하고 오염시키는 내장 목욕 에치 장치가 있습니다. 다른 원자로와 관련된 지저분함을 제거합니다. 이 기계는 또한 오염을 예방하고 우수한 웨이퍼 투 웨이퍼 반복성을 촉진합니다. Inova XT는 또한 동시 에칭과 엇갈린 에칭이 가능합니다. 스태거드 에칭을 통해 연산자는 코너 라운딩을 최소화하고 작은 피쳐 크기의 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 원자로의 Flex-Etch 기술은 또한 특정 응용 프로그램에 대한 사용자 정의 레시피 생성을 허용합니다. 이를 통해 사용자는 에칭 프로세스 (etching process) 를 특정 프로세스 또는 기판의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. Inova XT는 또한 비용 효율적인 솔루션이라는 디자인을 자랑합니다. 독보적 인 "아키텍처 '는 일반적 으로 다른 원자로 에 필요 한 부품 과" 펌프' 수 를 대폭 감소 시킨다. 따라서 운영 비용과 에너지 소비량이 줄어듭니다. 또한, 원자로에는 프로세스 간 전환에 필요한 시간을 줄일 수 있는 적응력 (adaptive flexibility) 이 내장되어 있습니다. 컨셉 3 이노바 XT (Concept 3 Inova XT) 는 에칭 된 기능의 효율성을 통해 랩핑 된 웨이퍼의 정밀도를 제공하는 놀라운 에치 원자로입니다. 이노바 XT (Inova XT) 원자로는 특허를 획득한 플럭스 캐비티 (Flux Cavity) 설계 및 바스 에치 (Etch) 도구를 통해 반도체 제조업체가 핀포인트 정확성, 뛰어난 반복성, 에너지 비용 절감으로 처리량을 높일 수 있도록 지원하는 비용 효율적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다