판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Altus #9375599

NOVELLUS Concept 3 Altus (C3A) 는 반도체 제조를 위해 설계된 업계 최고의 원자로입니다. C3A는 제어된 재료 특성 및 프로세스 매개변수에서 독보적인 성능과 다양한 기능을 제공합니다. C3A에는 최대 3 개의 열 공정을 수용 할 수있는 큰 직사각형 챔버 (rectangular chamber) 가 있으며, 여기에는 여러 온도, 압력, 흐름 및 기타 프로세스 조건이 포함될 수 있습니다. 이러한 각 프로세스는 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 광범위한 자동 기능 (automated function) 이 내장된 대화식 제어 장비가 내장되어 있어 챔버 (chamber) 의 정확한 상태를 쉽게 설정하고 유지할 수 있습니다. C3A는 또한 내부적으로 트윈 터렛 (twin-turret) 시스템을 통합하여 동일한 장치 내에 다수의 화학 증기 증착 (CVD) 챔버를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 규모가 비슷한 다른 시스템을 능가하는 대규모 (large) 프로세스 실행이 가능합니다. C3A의 기능은 Smart Chamber Sensing 기술의 구현으로 더욱 확장되었습니다. 이 기술은 운영자가 실내의 상태를 감지하고 모니터링함으로써 프로세스 조건을 실시간으로 조정할 수 있도록 도와줍니다 (영문). 이로 인해 매우 균일 한 코팅이 이루어져 넓은 지역에 걸쳐 ± 0.1[] 의 반복 가능성이 있습니다. C3A 는 또한 뜨거운 배기, 압력 강하 "센서 ', 난폭 한 보호기, 작은 입자 들 이 방출 되는 데 도움 이 되는 냉각 열" 플랫폼' 등 여러 가지 안전 기능 을 제공 한다. 이러한 안전 기능은 잠재적 인 우발적 손상으로부터 도구를 보호하는 데 도움이됩니다. 컨셉 3 알투스 (Concept 3 Altus) 는 반도체 생산에서 반복 가능하고 균일 한 결과를 제공 할 때 다용도와 성능 측면에서 동일하지 않은 혁신적인 원자로 자산입니다. 광범위한 프로세스 조건, 안전 기능, Smart Chamber Sensing 기술을 갖춘 C3A 는 고객의 요구 사항에 맞게 경제적인 솔루션입니다.