판매용 중고 NOVELLUS Concept 3 Altus #293767143

NOVELLUS Concept 3 Altus는 NOVELLUS Systems의 고성능 산업 규모의 화학 원자로입니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display), 데이터 저장 (Data Storage) 등 다양한 업종의 고급 필름 증착 애플리케이션을 위한 유연한 프로세스 솔루션입니다. Concept 3 Altus는 열 CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 ALD (Atomic Layer Deposition) 를 수행하며, 이는 여러 기판에 정확하고 균일 한 박막을 만드는 데 사용되는 프로세스입니다. 이 원자로는 설치 및 유지 보수 개선을 위한 사전 조립 (pre-assembly) 장비를 갖춘 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 성능 최적화를 위해 동적 제거 제어를 조정할 수 있습니다. 이 원자로에는 최적의 안정성과 성능을 보장하기 위해 몇 가지 추가 기능이 장착되어 있습니다. 공정 입구 가스 건조기가 통합되어 있으며, 입자가없는 건식 가스를 제공합니다. VPS (Vacuum Pressure Switching) 기술은 다중 영역 프로세스를 지원합니다. 또한 고속 로드 록 시스템이 내장되어 있습니다. NOVELLUS Concept 3 Altus 원자로에는 독점적 인 저유지 난방 장치가 있습니다. 이것은 전기 열 수송 루프를 사용하여 기질의 열 응력을 줄입니다. 또한 프로세스 요구사항과 정확하게 일치하는 정밀한 온도 영역 (temperature zone) 을 생성하는 특수 열 프로파일 머신 (thermal profile machine) 이 있습니다. 또한, 고급 모터 제어 기술은 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 동작 프로파일을 보장합니다. 개념 3 Altus는 동급에서 가장 발전된 산업 규모의 화학 원자로 중 하나입니다. 최고의 처리량, 비용 절감, 놀라운 성능을 제공하므로 탁월한 필름 증착 (film deposition) 애플리케이션을 위한 매우 경쟁력 있는 프로세스 솔루션입니다. 첨단 기술과 기능은 언제나 안정적이고 일관된 프로세스를 보장합니다.