판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9408537

NOVELLUS CONCEPT 2는 박막 증착 공정의 대량 제조를 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 반도체 업계의 멀티 레이어 박막 응용 분야에 특히 적합합니다. 컨셉 2 (CONCEPT 2) 는 여러 가지 고유한 기능을 갖춘 동적 처리 기술을 활용하여 업계 최고의 성능을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT 2의 구조는 단일 피스, 스테인리스 스틸 건설 선박으로, 부식성 "솔루션" 이 늘어서 효율적이고 비용 효율적인 처리를 제공합니다. 원자로는 독립적 인 난방 구역을 사용하여 효율적이고 반복 가능한 재료 처리를 달성합니다. 각 zone 에는 정밀한 프로세스 제어를 위한 독립적인 난방 및 냉각 기능이 있습니다. CONCEPT 2는 또한 폐쇄 루프 피드백 장비를 특징으로하여 증착 과정을 실시간으로 제어 할 수 있습니다. 이 "시스템 '은" 챔버' 내 의 온도 와 압력 을 정밀 하게 조절 할 수 있으며, 인시투 '증착율 "모니터' 를 사용 하면 증착율 을 정확 하게 조절 할 수 있다. 노벨 루스 컨셉 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 원자로는 깨끗함을 유지하고 챔버 표면의 오염을 방지하기 위해 최적의 챔버 보호를 보장합니다. 외부 대기로부터 챔버를 분리하기위한 2 개의 분리 밸브, 2 개의 O- 링, 2 개의 필름 분리 된 물개가 있으며, 작동 중에 생성 된 먼지 및 입자의 수준을 줄이기 위해 특수 먼지 방출 장치 (special dust emission unit) 가 있습니다. CONCEPT 2는 반복 가능하고 안정적인 결과를 위해 매우 정확한 프로세스 조건을 제공합니다. 기계 압력, 온도 및 기타 매개변수를 자동으로 모니터링하여 증착 정확도 및 수율에 대한 올바른 조건을 보장합니다. 다중 영역 아키텍처를 사용하여 증착률을 균일하고 정확하게 제어합니다. 이 도구는 또한 실시간 데이터 피드백 (feedback) 을 제공하여 다른 CVD 원자로 기술에서 가능한 것보다 훨씬 더 정확한 제어를 가능하게합니다. 또한 NOVELLUS CONCEPT 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 는 유지 보수가 최소화되어 자산의 경제적, 효율적인 운영을 보장하는 쉬운 운영자 기능을 자랑합니다. 여기에는 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드, 온도 및 압력 제어 시스템, 내장 Situ Rate Monitor 등이 포함됩니다. 또한 CONCEPT 2는 여러 가지 소스 기술과 호환되므로 매우 다양한 기능을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT 2 원자로는 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 박막 증착 프로세스에 적합한 탁월한 선택입니다. 동적 처리 기술, 탁월한 챔버 보호, 독립적인 난방 영역, 실시간 피드백 (feedback) 시스템을 통해 반도체 업계의 대용량 애플리케이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다.