판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9316802

NOVELLUS CONCEPT 2는 질화 실리콘, 산화 실리콘 및 기타 유전체 및 장벽 필름을 증착하도록 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 구리 상호 연결, 확산 장벽, 보호 계층 등과 같은 반도체 장치 제작 프로세스에 사용됩니다. 컨셉트 2 (CONCEP2) 원자로는 혁신적인 디자인과 고품질 구성 요소 덕분에 기존 방식보다 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 원자로는 직사각형 반응 챔버, 웨이퍼 보트 기판 홀더 및 고급 가스 전달 시스템을 사용하여 효과적인 CVD 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 CVD 프로세스 효율성을 극대화하기 위해 고급 소프트웨어 패키지와 컨트롤러로 구동됩니다. CONCEPT 2 원자로에는 3 전극 마그네트론 스퍼터링 소스, DC 플라즈마 소스, 저전압 (LV) 소스 및 고전압 (HV) 소스가 장착되어 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 소스는 얇은 질화물 및 산화물 층의 균일 한 증착을 제공하는 반면, DC 플라즈마 소스는 평면 화 된 질화물 및 산화물 층에 사용됩니다. LV 및 HV 소스는 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD), 실리실화 및 이온 도금을 포함한 추가 기능을 제공합니다. 기판을 오염으로부터 보호하기 위해 NOVELLUS CONCEPT 2 CVD 원자로는 깨끗하고 균일 한 증착을 보장하는 여러 기능으로 설계되었습니다. 첫째, 독점적 인 Jetfilm 보호 모듈은 챔버 오염 물질로부터 증착 과정을 분리하고 플루오린 함유 종의 백 스트리밍을 방지합니다. 원자로는 또한 고효율 필터링 된 리프트, 저온 웨이퍼 로딩 시스템 및 부식 내성 히터를 사용하여 챔버 내부의 불순물 축적을 최소화합니다. CONCEPT 2는 안정된 프로세스 성능을 보장하기 위해 고정밀 자동화 및 컨트롤을 통해 추가로 설계되었습니다. 견고하고 정확한 웨이퍼 보트 (wafer boat) 포지셔닝 시스템, 고급 레시피 실행 기능, 증착 프로세스의 균일성과 반복성을 보장하는 여러 기능을 제공합니다. 노벨 러스 컨셉 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 원자로는 유전체 및 장벽에서 최첨단 애플리케이션에 대한 장치 요구 사항을 충족시킬 수있는 매우 다양한 도구입니다.