판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9281499

NOVELLUS CONCEPT 2
제조사
NOVELLUS
모델
CONCEPT 2
ID: 9281499
Single speed chambers.
NOVELLUS CONCEPT 2 장비는 최첨단 제작 프로세스의 요구를 충족하도록 설계된 고급 산업 등급 증착 프로세서입니다. 이 시스템은 모듈식 설계를 사용하여 사용자에게 등각 코팅 (conformal coating), 원자층 증착 (atomic layer deposition), 진공 프로세스 (vacuum process), 물리적 증발 (physical vapor deposition) 등의 고급 증착 프로세스를 지원하는 데 필요한 리소스를 제공합니다. CONCEPT 2 원자로는 산화-환원 세포, 진공 펌프 장치, 열 단위 및 공정 챔버의 4 가지 주요 서브 시스템으로 구성됩니다. 산화 환원 세포는 두 개의 표면, 대상 및 기질로 구성됩니다. 대상 (target) 은 재료를 배치할 서피스이며, 기판은 베이스 서피스 (base surface) 입니다. 가열 원소 (heating element) 의 도움을 받아 산화-환원 세포 (oxidation-reduction cell) 는 표적 및 기질의 표면에 대한 물질의 균일 한 처리를 허용한다. 진공 펌프 머신 (vacuum pump machine) 은 반응 챔버 내에서 적절한 압력을 유지하고 거의 완벽한 진공을 만드는 데 도움을 주어 일관된 프로세스 성능을 보장하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 극저온 (cryogenic) 에서 터보 (turbo) 펌프에 이르기까지 다양한 펌프를 사용하여 적절한 결과를 확인합니다. 열 장치는 처리 중에 정확하고 일관된 온도 제어를 제공합니다. 이 자산은 적외선 레이저 (infrared laser) 를 사용하여 기판 온도를 감지하여 가공 영역의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로, 공정 챔버 (process chamber) 는 대상 및 기판에 재료를 배치하는 데 사용됩니다. 이 과정 에는 정밀 하게 측정 된 양 의 반응성 "가스 '와" 에너지' 를 가진 "플라즈마 '를 만드는 것 이 포함 되며, 이것 은 물질 입자 들 을 흥분 시켜 표면 에 증착 시킨다. 이 약실 에는 또한 "투여 챔버 '(dosing chamber) 라고 하는 별도 의 모형 이 들어 있는데, 이 모형 은 공정 을 촉진 하는 데 필요 한 여러 가지" 가스' 를 첨가 하고 제어 하는 데 사용 된다. 결론적으로, NOVELLUS CONCEPT 2는 강력한 산업 등급 증착 프로세서로, 고급 증착 공정의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 이 장비는 모듈식 (Modular) 설계를 활용하여 다양한 기능과 기능을 제공하여 사용자가 자신의 구성 프로세스 (Fabrication Process) 를 통해 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.
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