판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9262616

노벨 러스 컨셉 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 원자로는 반도체 칩 제조를위한 금속 증착 공정을 향상시키기 위해 특별히 설계된 최첨단 생산 도구입니다. 원자로는 좁고 중간 피치 구리 RDL (재배포 층) 및 다중 유전체 (MDM) 증착에 이상적입니다. 이 유형의 증착은 고급 마이크로 칩 장치의 제조 과정에서 중요한 단계입니다. CONCEPT 2 원자로는 가성 펌프 압력을 프로세스에 적용하는 독특한 공정 챔버 (process chamber) 와 증착 균일성 (deposition unifority) 및 스텝 커버리지를 최적화하는 후면 작동의 관형 환경을 특징으로합니다. 이 챔버에는 공정 온도를 안전하고 효율적으로 제어하기위한 저압 증기 장비가 있습니다. 이 시스템은 증착 과정 전반에 걸쳐 균일성과 반복성을 보장합니다. 또한 NOVELLUS CONCEPT 2에는 기판 전체의 압력, 온도, 가스 공급 및 기타 매개변수를 모니터링하고 조절하는 통합 고급 프로세스 제어 장치 (advanced process control unit) 가 포함되어 있습니다. 이 기능은 최소 변형을 통해 일관된 고품질 예금을 보장합니다. CONCEPT 2에는 조정 가능한 주파수, 다중 주파수 작동, 고속 전원 주파수 전환 기능을 제공하는 내장 가변 주파수 생성기가 포함되어 있습니다. 이 발전기는 펄스 (pulsed) RF 에너지 필드를 만들어 증착 과정의 성능을 향상시킵니다. NOVELLUS CONCEPT 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 는 비활성 가스 작동을 자동화하여 전체 기판에 균일 한 가스 적재 및 압력 제어를 보장하고 내부 인젝터 높이와 세그먼트 온도를 개별적으로 제어합니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 흐름을 정확하게 제어할 수 있으며, 일관된 성능을 보장할 수 있습니다. CONCEPT 2는 또한 고효율 입자 포집 기술, 증착 과정 중 입자 성능 향상, 주기 시간 증가를 제공합니다. 원자로는 무접촉 진동 분리 기계 (contactless vbration isolation machine) 를 특징으로하여 기질로부터 진동을 분리하여 처리량 및 균일성을 향상시킵니다. 결론적으로, NOVELLUS CONCEPT 2 원자로는 반도체 칩 제조를위한 금속 증착 공정을 향상시키기 위해 설계된 고급 생산 도구입니다. 원자로의 통합 공정 제어 도구, 가변 주파수 생성기, 비활성 가스 작동, 입자 포착 기술 등은 모두 주기 시간을 늘리고 공정 성능 및 제어를 향상시키는 데 도움이됩니다.