판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188218

NOVELLUS CONCEPT 2는 우수한 장비 성능을 제공하도록 설계된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 그것 은 여러 가지 재료, 구리, "크롬 '," 알루미늄' 의 증착 에 적합 한 고급화 된 자동화 된 도구 이다. CONCEPT 2에는 고효율, 제어성, 깨끗한 증착 프로세스를 생성하는 여러 활성 존 (zone) 소스가 장착되어 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 성능을 경쟁 제품과는 별도로 설정한 핵심 기능은 매우 높은 프로세스 반복성과 균일성입니다. 이것은 항상 높은 공정 정확성을 유지하기 위해 정확하게 튜닝 된 2 개의 독립적으로 작동하는 TEM 셀 기반 소스 (TEM cell-based source) 를 사용하여 달성됩니다. 이 시스템은 기본 장착형 (base-mounted) 으로, 사용자가 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있도록 기능과 기능을 추가할 수 있는 업그레이드 가능한 플랫폼입니다. 소형, 인체 공학적 디자인으로, 제한된 공간 내에서 설치 및 작동이 가능합니다. CONCEPT 2는 단일 웨이퍼 (single wafer) 에서 높은 처리량 (high-throughput) 운영 어플리케이션에 이르기까지 다양한 고급 어플리케이션을 지원할 수 있습니다. 이 시스템은 피드백 제어 (feedback control) 및 모니터링 장비를 통합하여 반복 가능성과 높은 수율을 보장합니다. 장비 자동 제어 및 모니터링은 증착율, 온도 변화 및 가스 흐름을 모니터링하고 측정합니다. 업계 최고 수준의 프로세스 성능 및 매개 변수 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 AGD (Advanced Gas Distribution) 기술, 기판 표면에 반응하는 가스의 전달을 정확하게 제어하는 독점 NOVELLUS 기술, 전통적인 가스 전달 시스템보다 더 균일성과 제어를 허용합니다. NOVELLUS CONCEPT 2는 낮은 열 예산 예금을 활용하여 균일하고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. 이는 AGD 기술과 정밀 증착률 제어 (precision deposition rate control) 를 통한 CONCEPT 2의 증가 된 프로세스 제어 (CONCEPT 2) 의 조합으로 인해 사용자가 단일 실행 내에서 증착율을 조정할 수있는 기능으로, 마스크 에지 코트를 피하고 최소 상단 클램프 (clamp) 를 통해 탁월한 종횡비 충전을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT 2는 경쟁 제품에 비해 탁월한 성능과 정확한 제어를 제공하는 차세대, 완전 자동화 도구입니다. 자동화된 프로세스 모니터링, 제어 및 피드백 시스템은 CONCEPT 2 (CONCEPT 2) 를 고급 증착 애플리케이션에 이상적인 선택으로 만들며, 뛰어난 반복성과 높은 수율을 제공합니다.