판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188216

제조사
NOVELLUS
모델
CONCEPT 2
ID: 9188216
TEOS gas cabinets.
NOVELLUS CONCEPT 2는 화학 증기 증착 (CVD) 을 사용하여 물질을 기판의 지정된 영역에 정렬하고 퇴적시키는 다용도 원자로입니다. 이 장비는 실란 (silane) 및 트리메틸 아민 (trimethylamine) 과 같은 다양한 특수 가스를 사용하여 증착을 만듭니다. 원자로 의 압력, 온도, "가스 '흐름 을 조정 하여 원하는 효과 를 낼 수 있다. 광범위한 연구 개발 (R&D) 애플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 원자로 생산이 생산하는 제품은 매우 균일하며, 대규모 생산 및 산업 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 특히 나노 와이어 및 양자 점 재료의 제작에 유용합니다. CONCEPT 2는 메인 챔버, 로더/언로더, 컴퓨터 및 제어 인터페이스로 구성됩니다. 원통형 주 챔버는 일반적으로 300-500 밀리바 압력과 300-500 섭씨 온도에서 작동합니다. 원자로는 오염이없는 환경을 보장하기 위해 정기적으로 N2로 제거됩니다. 다양한 증착 방법을 위해 광범위한 레시피를 프로그래밍 할 수 있습니다. 시스템의 로더/언로더 (loader/unloader) 구성 요소에는 원자로의 기판을 수송하기 위해 로봇 암이 장착되어 있습니다. 컴퓨터 장치는 컴퓨터의 다른 구성 요소와 완벽하게 통합됩니다. 제어 인터페이스를 사용하면 실시간 피드백 (real-time feedback) 및 사용자에게 친숙한 프로그래밍 명령을 통해 매개변수를 조정하고 즉석에서 변경할 수 있습니다. 고급 플라즈마 제어 도구 (advanced plasma control tool) 를 사용하면 챔버의 플라즈마 매개변수 (plasma parameters) 의 힘과 주파수를 최적의 증착률을 위해 조정할 수 있습니다. 이 자산에는 효율적인 냉각을 보장하고 수명을 극대화하는 혁신적인 열 (thermal) 모델도 포함되어 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2는 광범위한 유용한 응용 프로그램을 갖춘 강력하고 다양한 원자로입니다. 양자장치에 대한 나노 스케일 증착 (nano-scale deposition) 에서 컴포넌트 대규모 생산에 이르기까지, 이 원자로는 광범위한 재료에 대한 정밀하고 고품질의 결과를 보장합니다. 견고한 설계, 최적 성능, 고급형 제어 장비를 갖춘 CONCEPT 2 (CONCEPT 2) 는 많은 산업 운영에 이상적인 선택입니다.
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