판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9113843

NOVELLUS CONCEPT 2는 주로 다양한 기판에 재료 층을 침전시키는 데 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 금속 및 반도체 필름의 증착에 대해 저온 CVD 프로세스와 고온 CVD 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 프로세스 모니터링 및 제어 시스템도 갖추고 있습니다. CONCEPT 2는 3 개의 증착원과 함께 수평으로 장착 된 2 개의 쿼츠 샤워 헤드를 사용하여 재료 층을 기판에 배치합니다. 석영 샤워 "헤드 '는 환형 반사실 로 둘러싸여 있는데, 이것 은 전기 난방 요소 를 사용 하여 가열 된다. 기판은 가스 발사 적외선 램프 및 인클로저 (enclosure) 를 사용하여 가열되는 기판 홀더에 배치됩니다. 증착에 사용 된 가스는 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 와 자동 흐름 컨트롤러 (automatic flow controller) 를 사용하여 계량, 혼합 및 증착실로 전달됩니다. NOVELLUS CONCEPT 2에는 CVD 프로세스를 모니터링하도록 설계된 다양한 진단 장치가 장착되어 있습니다. 다양한 적외선 검출기, 열전대, 석영 결정 미생물 및 석영 결정 발진기가 포함됩니다. 이러한 진단은 CVD 반응에 존재하는 화학 종을 신속하게 식별하고, 예금 필름의 균일성을 보장하기 위해 프로세스 파라미터 (process parameters) 를 조정 할 수있다. 또한, CONCEPT 2에는 공정 기록 (process history) 을 제어하고 모니터링할 수있는 컴퓨터 시스템이 장착되어 있습니다. 사용자는 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 실시간으로 수정할 수 있으므로 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 또한 사용자는 자동 (automated) 프로그램을 실행할 수 있는 다양한 레시피를 입력하고 액세스할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 (NOVELLUS CONCEPT 2) 는 다양한 응용 프로그램에 대한 광범위한 정밀 예금을 생성 할 수있는 다용도 도구입니다. 반도체 (semiconductor) 와 정보 기술 제조 (Information Technology Manufacturing) 의 필수 요소로, 응용 분야에 대한 재료를 균일하게 증착 할 수 있습니다.