판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9100803
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ID: 9100803
웨이퍼 크기: 6"
Metal sputtering system, 6"
Transport Module
(2) PVD Modules
Power Module
Cassette Module
CTI 8510 Compressor.
NOVELLUS CONCEPT 2는 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. NOVELLUS Concept 3의 선구자이며 이중 유전체 원환기 소스의 사용을 소개 한 최초의 플랫폼 중 하나입니다. 특히 금속 CVD 및 선택적 증착 (selective deposition) 과 같은 응용 분야와 인 (phosphorus) 및 질화물 실리콘 증착 (silicon nitride deposition) 과 같은 저온 과정에 적합합니다. CONCEPT 2는 높은 생산성, 공정 균일성 및 장비 신뢰성을 제공하도록 설계된 인라인 CVD 원자로입니다. 이 시스템은 이중 유전체 원환체를 사용하여 유효 기판 영역을 늘리고 원자로 내 생성 된 입자 수준을 줄입니다. 이 기능을 사용하면 성능 저하 없이 전체 기판 웨이퍼 (기판 웨이퍼) 및 처리량 (처리량) 을 늘릴 수 있습니다. 열 내구성 석영 챔버 (quartz chamber) 는 우수한 온도 조절을 제공하며, 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 또한 여러 공정 주기를 효과적으로 유지하는 것으로 입증되었으며, 이를 리디렉스하거나 패키지화하지 않고도 여러 번의 실행을 허용합니다. NOVELLUS CONCEPT 2는 2 차원 펄스 전원을 사용하여 다양한 프로세스 레시피를 지원합니다. 이 기술을 통해 각 기판의 요구에 맞춘 (fully optimized) 프로세스 레시피를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 전체 웨이퍼 전체에서 에치 프로파일, 증착 균일성, 라인 너비 제어, 온도 프로파일을 제어할 수 있는 고유한 기능을 제공합니다. 또한 CONCEPT 2의 강력한 수리 및 증착 옵션을 통해 고정밀, 사용자 정의 가능한 장치 구성 요소를 사용할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2를 사용하면 자동화 된 웨이퍼 전송 장치의 혜택을 누릴 수도 있습니다. 이를 통해 모든 기판 웨이퍼는 정확한 기계식 컨베이언스를 통해 여러 원자로를 통해 정렬, 중심, 배치되며, 검증된 비접촉식 (non-contact) 빔 스티어링 기술을 사용하여 챔버 사이에 웨이퍼를 전달합니다. CONCEPT 2는 매우 인상적인 화학 증기 증착 원자로입니다. 이중 유전체 원환기 소스, 강력한 수리 및 증착 능력, 2 차원 펄스 파워 소스, 자동 웨이퍼 트랜스퍼링 머신 (Wafer Transferming Machine) 을 통해 사용자는 더 높은 수준의 생산성, 균일성 및 도구 신뢰성을 얻을 수 있습니다.
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