판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071448

NOVELLUS CONCEPT 2는 화학 증기 증착 (CVD) 장비로, 다양한 재료의 얇은 층으로 표면을 코팅하는 데 사용되는 원자로 유형입니다. CONCEPT 2는 종종 반도체 기판 및 다른 상호 연결 (예: 구리, 금, 티타늄 및 알루미늄) 에 얇은 필름 층을 만드는 데 사용됩니다. NOVELLUS CONCEPT 2는 매우 높은 증착률과 정밀 제어를 특징으로합니다. 혁신적인 슬래브 서셉터 디자인 (Slab Susceptor Design) 이 특징이며, 필름이 일관되고 균등하게 퇴적되도록 도와줍니다. 이 설계는 또한 차등 열 팽창 (differential thermal expansion) 으로 인해 섬세한 박막 층이 손상될 가능성을 줄입니다. CONCEPT 2 시스템은 증착률을 빠르고 정확하게 증가 할 수 있습니다. 필름 성장시 기판 층의 균일성을 유지하기 위해 작동하는 2 개의 온보드 셰이커가 있습니다. 또한 가열된 배기 장치 (exhaust unit) 를 사용하여 가스를 제거하고 기판의 오염을 줄일 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2는 또한 3 개의 추가 기판 열 데이터 획득 시스템 (Substrate Heat Data Acquisition Systems) 으로 확장 될 수 있으므로 복잡한 성장 프로세스에 이상적입니다. 모듈식 설계를 통해 CONCEPT 2는 매우 쉽게 사용할 수 있습니다. 구성 요소를 필요에 따라 쉽게 교체하거나 업그레이드할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2에는 클린 룸 준비 디자인이 있으며, 필요한 모든 구성 요소는 ISO-14644와 호환됩니다. 3 개의 독립적 인 챔버가 있으며, 모두 압력과 온도에 대해 지속적으로 모니터링됩니다. 이렇게 하면, 사용자에게 최대의 유연성을 제공하여, 일관되고 품질이 높은 필름을 만들 수 있습니다. 컨셉트 2 (CONCEPT 2) 는 고품질 박막을 만들기 위해 신뢰할 수있는 CVD 머신을 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다. 이 제품은 모듈식/다용도 툴로, 다양한 특정 애플리케이션에 손쉽게 적용할 수 있습니다. 정밀 제어 및 높은 증착율 덕분에 NOVELLUS CONCEPT 2는 모든 유형의 박막 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.