판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 #293810587
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NOVELLUS CONCEPT 2는 첨단 반도체 제조 공정에서 고가 기판을 처리하도록 설계된 최첨단 원자로입니다. 원자로 (reactor) 는 지속적인 생산 능력과 평생 동안 낮은 소유 비용이 특징입니다. 콘셉트 2 (CONCEPT 2) 원자로는 이전 NOVELLUS 원자로 모델에 비해 효율성 및 생산성 수준이 향상되어 가공할 수 있습니다. 에치 프로세스 표면적이 증가했으며, 결과적으로 제조 공정 (manufacturing process) 이 향상됩니다. 원자로 (Reactor) 는 향상된 압력 제어 기술 (Pressure Control Technology) 과 비활성 기체 (Inert Gase) 를 활용하여 전체 표면에서 이미지 균일성과 대비를 개선하여 경쟁 모델보다 높은 강착 율로 수행 할 수 있습니다. 이 장치의 작동 용량은 개선 된 열 사이클링 (thermal cycling) 및 온도 균일 성 기능을 중심으로합니다. 이는 프로세스 표면이 보다 일관되고 안정적이며, 에너지 소비, 비용, 배출량을 줄여줍니다. Cycle Time (주기 시간) 성능은 처리량을 향상시키고 생산 효율성을 높여줍니다. 즉, 회사의 손실과 수익 증가를 의미합니다. 이 장치는 챔버 (chamber) 기반 프로세스 영역을 사용하여 배치 프로세스를 etch 프로세스와 분리합니다. 이렇게 하면, 프로세스 레시피를 한 모드에서 다른 모드로 전송할 수 있으며, 다른 프로세스에서 다른 프로세스로 마이그레이션하는 것을 방지할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 원자로는 신뢰성을 향상시키기 위해 여러 기능으로 설계되었습니다. 어셈블된 컴포넌트는 스크류 패스닝 (screwed fastening) 대신 스냅 피트 패스너 (snap fit fastener) 를 사용하며 마모 및 눈물 점을 나타내는 기호로 레이블이 지정됩니다. 플레 넘 (Plenum) 과 디퓨저 탱크 (diffuser tank) 는 부식 및 마모에 저항하기 위해 고급 스테인리스 강철로 만들어졌습니다. 원자로 (reactor) 는 모듈식 설계를 통해 교체 비용이 낮아 운영 수명을 연장할 수 있습니다. 원자로에는 자율 제어 장비가 포함되어 있어 효율적이고 정밀한 작동이 가능합니다. 이 시스템은 단일 클릭 (single-click) 프로그래머블 레시피 (programmable recipe) 를 특징으로하며, 과열 이벤트를 감지할 수 있으며, 발생하는 오류나 문제가 바로 장치에 의해 표시됩니다. 또한 Control Machine 은 한 번의 실행에서 다음 작업까지 품질 보증, 신뢰성, 반복성을 보장합니다. 마지막으로, 이 장치는 사용 편의성과 통합을 염두에 두고 설계되었습니다. 장치 소프트웨어는 설치, 사용이 간편하며, NOVELLUS 컨트롤러와 다른 시스템 간의 호환성이 보장됩니다. 이 장치는 또한 전체 수명 주기 동안 최소한의 유지 보수 (maintenance) 를 통해 성능과 무결성을 유지하도록 설계되었습니다. 결론적으로, CONCEPT 2는 고음질 기판 처리를 위해 효율적이고 고품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 모듈성, 효율성, 신뢰성 및 통합의 조합으로 NOVELLUS CONCEPT 2는 모든 반도체 제조 시설에 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다.
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