판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed #9096021

NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed는 HPE (high-productivity epitaxy) 및 고급 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 CVD 원자로입니다. 탁월한 CVD 성능을 제공하도록 설계되었으며 200 nm/min 균일성 및 0.5 nm/min 비 균일성 사양으로 매우 높은 증착률을 제공합니다. 모든 응용 에피 (epi) 구조의 최적의 성장 및 표면 평면 (planarity) 을 허용하도록 조정 할 수있는 3 가지 수준의 전력이 특징입니다. 트리플 스피드 (Triple Speed) 원자로는 3 단계 반응 챔버에서 작동하며, 각 레벨은 다른 수준의 전력을 차지합니다. 첫째, 저전력 기판 단계를 사용하여 결정 과잉 성장 위험을 줄이고 표면 평면 (surface planarity) 을 개선합니다. 두 번째 단계는 균일 한 성장 조건을 만들기 위해 강력한 중형 플라즈마입니다. 마지막으로, 고출력 수소 플라즈마가 계간 적합화에 사용된다. 또한 CONCEPT 2 Triple Speed에는 TurboStar 기술이 장착되어 있으며, 이는 반응 챔버 위상을 기반으로 플라즈마 포켓을 생성하여 가속화 된 증착을 촉진합니다. 이것은 균일성과 적합성을 높이면서 처리 속도를 증가시킵니다. 트리플 스피드 (Triple Speed) 원자로는 또한 여러 고급 추가 도구 및 리소그래피 광학과 호환되도록 설계되었습니다. TCO (총소유비용) 를 절감함으로써 유지 보수 및 장기 비용 절감 효과를 최소화할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed (NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed) 는 빠른 주기, 향상된 수율 및 높은 반복성을 제공하여 제조 프로세스를 개선하려는 사람들에게 이상적입니다.